[实用新型]基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置

权利要求书

1.基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置，包括光源，析光镜，对称式变间距光栅、透镜，反射镜，限光狭缝，光电探测器，光源发出单色平面波经析光镜入射到第一透镜(3)上，调整为平行光经过光栅(4)，平行光经过第二透镜(5)聚焦在反光镜(6)上的m点处，经反光镜(6)反射，再经第二透镜(5)，调整为平行光，入射到光栅(4)上，形成干涉，干涉光经第一透镜(3)、析光镜(2)和限光狭缝(7)聚焦到光电探测器(8)上。

2.根据权利要求1所述的基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置，其特征在于：对称式变间距光栅是与其自身镜像发生干涉。

3.根据权利要求1所述的对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置，其特征在于：采用一种新型的对称式变间距光栅，光栅以中间刻槽为对称线，两侧按照等差数列变化，可以得到位移与光栅光强变化周期的对应关系。