[发明专利]基于压电声波传感器的进样装置及其接线方法、清洗方法

说明书

本发明公开了一种基于压电声波传感器的进样装置及其接线方法、清洗方法，其中，进样装置包括：上盖板、流道底座、压电声波传感器、和测试电路板，流道底座上设置有凹槽，压电声波传感器位于凹槽内，凹槽底部开有进样口和出样口，进样口通过进样流道与进样接口连接，出样口通过出样流道与出样接口连接；上盖板覆盖在流道底座上表面，测试电路板设置在流道底座下方；压电声波传感器的电极通过连接件与测试电路板电连接，连接件穿过流道底座。本发明将压电声波传感器引出的信号在进样装置内部经流道基座转接至底部测试电路板，信号线在测试过程中不会出现因外部干扰导致的抖动，其稳定性高，受到外界晃动的干扰较小。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种基于压电声波传感器的进样装置及其接线方法、清洗方法。

背景技术

基于压电原理的压电声波传感器，如兰姆(Lamb)波传感器和薄膜体声波谐振器(FilmBulk Acoustic Resonator，简称为FBAR)，通过将声波能量限制在由电极-压电薄膜-电极组成的压电振荡堆中，可有效地提高器件的品质因数(Q值)。相比QCM和SAW传感器，上述的压电声波传感器可获取较低的检测限，适用于癌症标记物等超微量检测的应用领域。另外，基于SAW原理的器件的进样装置在液体进样时，由于进样流道通过电极一侧，往往需要针对器件电极施加后续保护处理，如沉积二氧化硅薄膜等，这使器件的固有声波特性发生变化，并且加大了工艺制作的复杂程度，而Lamb传感器和FABR谐振器通过电极背面腐蚀槽一侧进行进样，根据测试介质的不同在腐蚀槽一侧进行生物、化学类修饰，有效地避免了流体和电极的直接接触。

现有的测试装置，如专利公告号为CN204255395U的专利申请公开了一种拆卸式声波传感器信号测试装置，其包括：测试电路板、电极引线、盖板、柔性薄膜、底座以及声波传感器；底座上设置有第一凹槽，声波传感器部分位于第一凹槽中，柔性薄膜固定于底座和盖板之间，柔性薄膜上设置有开口，开口与第一凹槽相对设置，开口的边缘压在声波传感器的边缘上；声波传感器包括基片、地电极、引入电极、引出电极，地电极、引入电极、引出电极自开口处暴露出，测试电路板设置于盖板上，电极引线一端与测试电路板电性连接，另一端穿过盖板形成连接触头，连接触头与地电极、引入电极、引出电极进行电性连接。该拆卸式声波传感器信号测试装置结构简易、使用便捷，能够保证器件信号的稳定输出。

然而，发明人发现，该测试装置由于信号引出线直接从上盖板上引出至测试电路板，导致在测试过程中，容易因外界振动导致信号引出线抖动，进而使得测试信号的噪声增大，降低了测试精度

发明内容

本发明要解决的技术问题在于由于信号引出线直接从上盖板上引出至测试电路板，导致在测试过程中，容易因外界振动导致信号引出线抖动，进而使得测试信号的噪声增大，降低了测试精度，从而提供一种基于压电声波传感器的进样装置及其接线方法、清洗方法。

本发明的一方面，提供了一种基于压电声波传感器的进样装置，包括：上盖板、流道底座、压电声波传感器、和测试电路板，其中，所述流道底座上设置有凹槽，所述压电声波传感器位于所述凹槽内，所述凹槽底部开有进样口和出样口，所述进样口通过进样流道与进样接口连接，所述出样口通过出样流道与出样接口连接；所述上盖板覆盖在所述流道底座上表面，所述测试电路板设置在所述流道底座下方；所述压电声波传感器的电极通过连接件与所述测试电路板电连接，其中，所述连接件穿过所述流道底座。

可选地，还包括：支撑板，设置在所述流道底座下表面，所述测试电路板固定在所述支撑板上，所述连接件还穿过所述支撑板。

可选地，所述连接件包括：第一探针，与所述压电声波传感器的电极接触，用于引出所述压电声波传感器的信号；第二探针，穿过所述流道底座，与所述测试电路板电连接；信号转接片，与所述第一探针和所述第二探针分别电连接。

可选地，所述第一探针为弹性探针，用于压住所述压电声波传感器的电极。