[发明专利]一种清洁口金模块的磨具

说明书

本发明公开一种清洁口金模块的磨具，其中，所述磨具包括：本体；能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。本发明的磨具结构简单，可以实现解决直接用口金测试清洁口金模块角度和高度时造成的刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，本发明的磨具可通过调整参数，来达到需要的角度，保证其精密性，又可解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头，又可针对不同改进型清洁口金模块对应不同角度校正问题；同时本发明的磨具可通过调整参数，来达到需要的高度，可精确到0.01mm，保证校正时高度的精密性，同样可防止校正时刮坏口金表面及撞坏口金头。

技术领域

本发明涉及一种磨具，特别涉及一种清洁口金模块的磨具。

背景技术

涂料器(Coater)为彩膜基板(CF)制程中的重要设备之一，主要功能为涂布成膜，并在成膜后利用真空干燥抽除光阻中70％成分的溶剂，保证成膜稳定性。

涂料器主要构成部分为门架(Gantry)传动机构(含喷嘴(Nozzle))、真空台(Vaccum Stage)、托盘单元(Tray Unit)、喷湿单元(Wet unit)和其他控制单元。

喷嘴为涂料器最重要部品，作用为均匀地涂布光阻，保证涂膜质量，而清洁口金模块(rubber)的作用即为刮拭干净喷嘴口金。

在安装清洁口金模块时，因安装手法问题，出现了安装角度、高度细微差别，而人又无法明确判断，这就会导致后续生产的基板出现严重的裂缝不均匀(slit mura)，导致产品报废，而且安装过程中，容易刮坏口金表面及撞坏口金头。

为避免在安装过程中避免刮坏口金表面及撞坏口金头，有必要提出一种能够测定清洁口金模块的角度和高度的磨具。

发明内容

本发明的清洁口金模块的磨具能够实现解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，又可针对不同改进型清洁口金模块对应不同角度校对(teaching)问题，同时能够测定清洁口金模块的高度，从而实现防止校对时刮坏口金表面及撞坏口金头的目的。

为实现上述目的，本发明的清洁口金模块的磨具，其特征在于，所述磨具包括：

本体；

能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。

如上所述的磨具，其中，所述角度测试器设于所述本体的下方，所述本体的下方设有两个对称设置的角度测试器。

下方设有两个对称设置的角度测试器。

如上所述的磨具，其中，所述角度测试器的纵截面的形状为三角形。

如上所述的磨具，其中，所述本体的纵截面的形状为矩形。

如上所述的磨具，其中，所述三角形的一直角边沿水平方向设于所述本体内，所述三角形的另一直角边沿竖直方向凸设在所述本体上，所述另一直角边在所述本体内上下移动。

如上所述的磨具，其中，所述磨具与控制系统相接。

如上所述的磨具，其中，所述控制系统能够调整所述角度测试器凸出所述本体的高度。

如上所述的磨具，其中，所述清洁口金模块包括模块本体和设于所述模块本体上方的模块斜部。

如上所述的磨具，其中，所述模块斜部的纵截面的形状为三角形状，所述三角形状的一条直角边与所述模块本体的上表面相平行，所述三角形状的另一条直角边与所述模块本体的上表面相垂直。

如上所述的磨具，其中，所述三角形的另一直角边与所述三角形的斜边形成第一夹角，所述三角形状的一条直角边与所述三角形状的斜边形成第二夹角，所述第一夹角和所述第二夹角互余。