[发明专利]一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统及工艺有效
申请号: | 201611183128.1 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN106587585B | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 张嵘;周斌;张天;李思维;王秋来;黄文符;陈志勇 | 申请(专利权)人: | 沈阳市超高真空应用技术研究所;清华大学 |
主分类号: | C03B29/06 | 分类号: | C03B29/06;C03B27/012;C03B27/00;C03B35/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐宁;关畅 |
地址: | 110164 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双腔室 可控 压力 高温 冷热 成形 系统 工艺 | ||
1.一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,该系统包括:
高温腔室,
与所述高温腔室相连通的低温腔室,和
横向设置在所述低温腔室内且远离所述高温腔室一侧的送料杆;
所述高温腔室包括密闭金属外壳、载物托盘放置装置、设置在所述密闭金属外壳内部的保温层以及设置在所述密闭金属外壳上的加热电极;由所述保温层围成匀热区,所述加热电极穿过所述保温层进入所述匀热区内,所述载物托盘放置装置设置在所述匀热区内;所述密闭金属外壳上还设置有高温放气阀门和高温抽气阀门;所述高温腔室内靠近所述低温腔室的部分设置有隔温挡板;
所述低温腔室由低温密闭金属外壳围成,所述低温腔室内部包括设置在所述低温腔室靠近所述高温腔室部分的冷却腔室、由所述低温腔室内剩下的另一部分形成的换料腔室和设置在所述低温密闭金属外壳上与所述换料腔室相对应位置的换料窗口;所述低温密闭金属外壳上还设置有低温充气阀门和低温抽气阀门;
所述送料杆的行程能穿过所述低温腔室直达所述高温腔室的内部;所述高温抽气阀门与所述低温抽气阀门相连通;
所述高温腔室与所述低温腔室之间通过中间腔室相连接连通,所述中间腔室内设置有真空挡板,能将所述高温腔室与所述低温腔室分隔开;所述冷却腔室外部包裹冷却筒,通过向所述冷却筒内导入和导出冷却液体,实现所述冷却腔室内的急冷降温。
2.如权利要求1所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述加热电极通过电极绝缘接口设置在所述密闭金属外壳上;所述密闭金属外壳和电极绝缘接口均采用空心结构,所述密闭金属外壳和电极绝缘接口中通有循环冷却水。
3.如权利要求1所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述保温层采用包裹有石墨毡的耐高温合金材料制成;所述加热电极采用耐高温合金材料制成;所述密闭金属外壳内壁采用耐高温纯金属材料制成;所述低温密闭金属外壳采用不锈钢材料制成。
4.如权利要求1所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述载物托盘放置装置包括载物平台和通过外部动力机构驱动的升降平台,所述升降平台设置在所述匀热区的中间,所述载物平台设置在所述匀热区内所述升降平台的两侧;所述升降平台通过所述高温腔室外部的主升降杆与所述外部动力机构相连接,且所述主升降杆外侧包裹有波纹管。
5.如权利要求4所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述送料杆通过磁性套筒驱动,通过所述载物平台和升降平台之间的传递配合,实现载物托盘在所述低温腔室和高温腔室之间的送料、取料过程。
6.如权利要求4所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述换料窗口能横向开合;所述换料窗口上设置有玻璃观察窗;所述高温抽气阀门和低温抽气阀门通过总抽气阀门与抽气设备相连接;所述抽气设备是机械泵、分子泵或者真空泵。
7.如权利要求4所述的一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统,其特征在于,所述高温腔室上还设置有内部温度传感器和外部温度控制器。
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