[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，所述基板检查装置检查基板的表面背面两面，其特征在于，包括：

至少一个表面侧照射单元，所述至少一个表面侧照射单元能够向所述基板的表面侧的预定的检查范围照射预定的光；

表面侧拍摄单元，所述表面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的表面侧的预定的检查范围；

表面侧移动单元，所述表面侧移动单元能够将所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动到与所述基板的表面侧的预定的检查范围对应的位置；

至少一个背面侧照射单元，所述至少一个背面侧照射单元能够向所述基板的背面侧的预定的检查范围照射预定的光；

背面侧拍摄单元，所述背面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的背面侧的预定的检查范围；

背面侧移动单元，所述背面侧移动单元能够将所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元移动到与所述基板的背面侧的预定的检查范围对应的位置；以及

检查单元，所述检查单元能够基于通过由所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元进行的所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，并且能够基于通过由所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元进行的所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的至少一个图像数据，执行该检查范围涉及的检查，

在停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该表面侧照射单元以及表面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，

在停止了来自所述表面侧照射单元的光的照射的状态下，在通过所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元来执行所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理之后，

在将该背面侧照射单元以及背面侧拍摄单元移动到与下一个检查范围对应的位置的同时，停止了来自所述背面侧照射单元的光的照射的状态下，通过所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元来执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理，

由此，能够交替性执行所述基板的表面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理、以及所述基板的背面侧上设定的多个检查范围中的一个检查范围涉及的图像获取处理。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元进行的图像获取处理，

并且，

在所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元的移动期间，执行由所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元进行的图像获取处理。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的表面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

并且，基于预先决定的检查顺序，向与所述基板的背面侧上设定的多个检查范围对应的位置依次移动所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元，并依次执行该多个检查范围涉及的图像获取处理，

关于所述基板的表面侧，设定所述检查顺序，使得所述表面侧照射单元以及所述表面侧拍摄单元移动的路径成为离预定的起点最短的路径，和/或

关于所述基板的背面侧，设定所述检查顺序，使得所述背面侧照射单元以及所述背面侧拍摄单元移动的路径成为离预定的起点最短的路径。