[发明专利]一种还原氧化石墨烯薄膜光电探测器及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201611144760.5 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN108231942B 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 贺军辉;田华 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 张文祎;赵晓丹
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 还原 氧化 石墨 薄膜 光电 探测器 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种还原氧化石墨烯薄膜光电探测器的制备方法,其特征在于,所述光电探测器包括还原氧化石墨烯薄膜和表面电极;所述还原氧化石墨烯薄膜为无基底还原氧化石墨烯薄膜;所述表面电极为对称叉指电极;所述还原氧化石墨烯薄膜的厚度为30-110.9μm;

所述还原氧化石墨烯薄膜光电探测器的制备包括以下步骤:

1)将还原氧化石墨烯加入到溶剂中,制成一定浓度的分散液;

2)将玻璃基底在纯净水中超声10-30 min,吹干;

3)采用滴涂法制备还原氧化石墨烯薄膜;

4)在还原氧化石墨烯薄膜上蒸镀金属制得对称叉指电极,即得到自支撑光电探测器;

步骤3)中采用滴涂法将还原氧化石墨烯均匀滴涂在超声清洗过的玻璃基底上,在15-60 ℃下干燥5-24 h后,经简单的剥离法将还原氧化石墨烯薄膜从玻璃基底上剥离,得到无基底的还原氧化石墨烯薄膜;

其中,所述还原氧化石墨烯的制备方法包括以下步骤:

首先将氧化石墨烯分散于去离子水中,超声分散10-60 min,得氧化石墨烯溶液,然后将其分散于培养皿中,在40-80℃下干燥去除水份;

然后在干燥后的所述培养皿中加入50%的水合肼溶液,15-30℃下浸泡5-24 h,经水和乙醇各洗涤3-5次,得还原氧化石墨烯。

2.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯薄膜光电探测器的制备方法,其特征在于,所述蒸镀金属为铜。

3.根据权利要求1所述的一种还原氧化石墨烯薄膜光电探测器的制备方法,其特征在于,步骤1)中所述溶剂为水、乙醇或丙酮;所述分散液的浓度为1-5mg/mL;步骤3)中滴涂法制备还原氧化石墨烯薄膜时,还原氧化石墨烯薄膜面积与玻璃基底面积相等,制备得到的还原氧化石墨烯薄膜的厚度为30-110.9μm。

4.如权利要求1所述的制备方法制备得到的一种还原氧化石墨烯薄膜光电探测器在光电探测领域的应用,其特征在于,所述还原氧化石墨烯薄膜光电探测器可在紫外-可见-红外波段进行光电探测。

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