[发明专利]一种含氧氢化钇光致变色薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611110407.5 | 申请日： | 2016-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108147679B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 包山虎;拉毛;金平实;辛云川 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氢化 钇光致 变色 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种含氧氢化钇光致变色薄膜，其特征在于，所述薄膜由YHxOy层和位于所述YHxOy层表面的Pd层组成，其中，1＜x＜4，1＜y＜10；所述YHxOy层的厚度为100nm～500nm，所述Pd层的厚度为1nm～10nm；
所述含氧氢化钇光致变色薄膜的制备方法，包括：通过直流磁控溅射法在基底上依次沉积YHxOy层和Pd层，以金属钇和金属钯为靶材，沉积室溅射全压为0.3～2 Pa，溅射气氛为Ar与H2的混合气体，Ar与H2的流量比为1～100 ：0～20；
沉积YHxOy层的功率为10～100W，沉积时间为3000～6000秒；
沉积Pd层的功率为10～30 W，沉积时间为15～100秒。
2.一种权利要求1所述的含氧氢化钇光致变色薄膜在建筑玻璃、汽车、航空航天、光学及电子器件领域中的应用。
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