[发明专利]一种具有再生功能的低温泵系统

说明书

一种具有再生功能的低温泵系统，其包括冷泵壳体、冷头、冷泵控制模块和加热模块；冷头位于冷泵壳体内，用于在真空状态吸附冷泵壳体内的气体，气体凝结覆盖在冷头上；冷泵控制模块用于控制低温泵的真空吸附过程和低温泵的再生过程；加热模块植入在冷泵壳体内，在低温泵的再生过程中，加热模块对冷泵壳体进行加热，以避免在低温泵的再生过程中由于通入氮气后热传递变快，从而导致冷泵壳体温度低于环境温度产生冷凝水。

技术领域

本发明属于半导体技设备制造领域，尤其涉及一种具有再生功能的冷泵(低温泵)系统。

背景技术

低温泵是一种利用低温表面来冷凝、吸附和捕集气体的真空获得设备，它具有洁净无油、抽速高等优点，在半导体、集成电路和空间技术研究方面应用广泛。

请参阅图1，图1所示为现有技术中低温泵的结构示意图。如图所示，低温泵主要包括冷泵壳体1、冷头2和控制模块3。低温泵采用冷头2吸附时，其工作在真空状态，吸附工作进行一段时间后，冷头2被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，因此，实际使用时，每过一段时间就需要对低温泵进行加热，以去除凝结在冷头2上的固态气体，即所谓的“再生”。

低温泵再生所使用惯例方法，即对冷泵壳体1进行加热，使冷头2上吸附的冷凝物气化排出，再将冷头1冷却至约10K继续工作。在低温泵再生时，低温泵工作在非真空状态，冷泵壳体1的内部通常需通入氮气后让其自然回温，由于低温泵内冷头2的温度很低，通入氮气后热传递变快导致冷泵壳体1温度低于环境温度产生冷凝水，冷泵壳体1外部的冷凝水有可能会损伤机台或触发漏水情况。本领域技术人员清楚，如果在设计时回避这类问题则会大大增加设计难度。

发明内容

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种具有再生功能的低温泵系统，其包括冷泵壳体、冷头、冷泵控制模块和加热模块；冷头位于所述冷泵壳体内，用于在真空状态吸附所述冷泵壳体内的气体，所述气体凝结覆盖在冷头上；冷泵控制模块用于控制所述低温泵的真空吸附过程和所述低温泵的再生过程；加热模块植入在冷泵壳体内，在所述低温泵的再生过程中，所述加热模块对冷泵壳体进行加热，以避免在所述低温泵的再生过程中由于通入氮气后热传递变快，从而导致冷泵壳体温度低于环境温度产生冷凝水。

优选地，所述加热模块包括电热丝和加热电源，所述电热丝植入所述冷泵壳体内，且所述电热丝在冷泵壳体内均匀分布；在所述低温泵的再生过程中，所述电热丝对壳体进行加热，所述电热丝由所述加热电源供电。

优选地，所述加热模块还包括加热控制模块，所述加热控制模块控制冷泵壳体升温后的温度保持在高于环境温度的状态，以使大气中的水汽不会凝结成水滴。

优选地，所述加热控制模块控制冷泵壳体升温后的温度保持在高于在所述低温泵的真空吸附过程的温度，以加快附着在冷泵壳体内壁上的凝华后的气体升华速度，从而更容易再所述低温泵的再生过程中被置换气体带走。

从上述技术方案可以看出，本发明提供的具有再生功能的低温泵系统，当对低温泵进行再生过程时，通过在冷泵壳体内植入电热丝，对壳体进行加热，使冷泵壳体温度略高于环境温度，使水汽不会凝结成水滴，且壳体温度相比当前略高，附着在冷泵壳体内壁上的凝华后的气体更容易在再生时升华更快更彻底，更容易被置换气体带走，因此提升了再生效果。

附图说明

图1显示为一个现有技术的具有再生功能的低温泵系统的结构示意图

图2为本发明实施例中具有再生功能的低温泵系统的结构示意图

具体实施方式

体现本发明特征与优点的实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的示例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及图示在本质上当做说明之用，而非用以限制本发明。