[实用新型]一种氦气自动充装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种充气装置，尤其涉及一种氦气自动充装装置。

背景技术

微电子工业高新技术成果的产业化，对相关的特气原料质量要求愈来愈高。现 有的氦气充装一般通过手动的方式控制阀门以及真空泵的运行，达到正常充装混配 气的目的。人为进行充装管理，不但工作量大，而且容易出现人为误操作行为，影 响气体的品质。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种氦气自动充装装置，能够实现一键 化的操作控制，杜绝生产过程中可能出现的人为误操作行为，提高气体的品质。

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种氦气自动充装装 置，包括原料钢瓶和成品钢瓶，所述原料钢瓶和成品钢瓶通过不锈钢管道相连，其 中，还包括PLC控制器和真空泵，所述真空泵通过真空泵阀门连接不锈钢管道，所 述不锈钢管道上靠近原料钢瓶一侧设有第一压力变送器和第一阀门，所述不锈钢管 道上靠近成品钢瓶一侧设有第二压力变送器和第二阀门，所述PLC控制器的输入端 和第一压力变送器、第二压力变送器相连，所述PLC控制器的输出端和第一阀门、 第二阀门的控制端相连。

上述的氦气自动充装装置，其中，所述真空泵上设有压力传感器，所述成品钢 瓶的初始真空度小于5×10^-5pa。

上述的氦气自动充装装置，其中，所述PLC控制器上设置有压力上限指示灯。

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的氦气自动充装 装置，通过设置PLC控制器和真空泵，利用压力变送器对充装气体压力检测，控制 充装阀门及时开关，从而达到保证大批量纯气充装安全的目的，有效防止生产过程 中可能出现的人为误操作行为，提高气体的品质。

附图说明

图1为本实用新型氦气自动充装装置结构示意图。

图中：

1PLC控制器2原料钢瓶3成品钢瓶

4真空泵5第一压力变送器6第二压力变送器

7第一阀门8第二阀门9真空泵阀门

10压力传感器

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1为本实用新型氦气自动充装装置结构示意图。

请参见图1，本实用新型提供的氦气自动充装装置，包括原料钢瓶2和成品钢瓶 3，所述原料钢瓶2和成品钢瓶3通过不锈钢管道相连，其中，还包括PLC控制器1 和真空泵4，所述真空泵4通过真空泵阀门9连接不锈钢管道，所述不锈钢管道上靠 近原料钢瓶2一侧设有第一压力变送器5和第一阀门7，所述不锈钢管道上靠近成品 钢瓶3一侧设有第二压力变送器6和第二阀门8，所述PLC控制器1的输入端和第一 压力变送器5、第二压力变送器6相连，所述PLC控制器1的输出端和第一阀门7、 第二阀门8的控制端相连。

本实用新型提供的氦气自动充装装置，使用时启动真空泵4对装置进行真空处 理，除去装置内的空气等有害组份，真空度为＜5×10^-5pa。开启原料段第一阀门7 对气体进行充装，直到充装到设定压力。本实用新型提供的氦气自动充装装置，主 要由PLC控制系统，真空系统，压力信号输送系统，物料控制系统，原料钢瓶和成 品钢瓶组成。各模块的组成及作用如下：

1)PLC控制系统

搭配人机界面触摸屏，达到轻松操作的目的。可与DCS总线上位机modbus进行 数据传输；实现实时控制和监控。可以通过通信联网，实现分散控制，集中管理。 使用方便，适应性强，PLC控制器1的故障率很低，且有完善的自诊断和显示功能。

输入装置和执行机构发生故障时，可以根据PLC控制器1上的发光二极管或编 程器提供的信息迅速地查明故障的原因，用更换模块的方法可以迅速地排除故障。 PLC控制器1具有过载、短路、缺相保护等保护功能。

2)真空系统

主体设备为真空泵4，作用是利用真空压缩机的高真空能力，除去装置中的空气 等有害组份。既可以近程操控，也可以通过PLC实现远程自控。

3)压力信号输送系统

主体由第一压力变送器5和第二压力变送器6组成，作用是将原料端和成品端 的压力转变为电信号传输给PLC控制器1，通过PLC控制器1进行两者压力比较去控 制自控制阀，实现原料端和成品端自控阀的适时自动开、闭。

4)物料控制系统