[实用新型]粉料反应器

说明书

技术领域

本实用新型是一种粉料反应器，更确切的说是煅烧原料控制气体不产生飞散的粉料反应器。

背景技术

在工业生产中，陶瓷类的粉料在制造时，需将混合好的粉料置入托盘，将托盘放入控制气体(例如特定氧含量的气体环境或惰性气体)的反应器中进行煅烧，使粉料反应成所需的形态，这种反应器为了生产粉料，会特别对通入反应气体进行设计，也就是说通入反应气体时，不会造成托盘上的粉料产生飞散。然而，除了制备粉料的反应器外，大多数的反应器都具有加热以及通入反应气体的功能，如晶硅反应器，但这种晶硅反应器为了使反应气体可快速扩散至晶圆表面，其流速相当的快，因此这种反应器若使用于粉料制造，则会造成粉料飞散。因此，要如何让粉料的制造，可适用于各种具有加热以及通入反应气体的反应器，不具有制造粉料功能的反应器可制造粉料，提升反应器的使用率，成为有关行业研究的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种粉料反应器，解决上述现有技术中的一个或者是多个。

本实用新型提供一种粉料反应器，包括反应装置和承载装置，其中，反应装置包括腔体和对腔体加热的加热器，腔体上设置有用来通入反应气体的进气口和出气口；承载装置设于腔体内，承载装置包括框体和多个盖体，框体内形成有容置空间，框体四周的侧壁上表面处设置有通气孔，盖体分别盖合于框体的上下表面，使框体的容置空间上下方侧形成遮蔽。

本实用新型提供的一种粉料反应器，在反应器中煅烧原料时，控制粉料不易飞散。

在一些实施方式中，进气口与出气口设置于腔体上方侧。

在一些实施方式中，框体由多个侧壁围绕并接所形成。

附图说明

图1为本实用新型粉料反应器较佳实施例的侧视剖面示意图；

图2为本实用新型承载装置的立体分解图；

图3为本实用新型承载装置的立体外观图；

图4为本实用新型承载装置的剖面图；

图5为本实用新型承载装置另一较佳实施例的立体外观图；

图6为本实用新型粉料反应器另一较佳实施例的侧视剖面示意图；

图7为本实用新型承载装置又一较佳实施例的立体外观图；

图8为本实用新型承载装置又一较佳实施例的立体分解图。

具体实施方式

如图1-4所示，本实用新型粉料反应器包括反应装置1和承载装置2，反应装置1包括腔体11以及对腔体11加热的加热器12，且腔体11的上方侧设置有进气口111与出气口112，进气口111与出气口112用于通入反应气体以及排出反应气体；承载装置2包括框体21以及2个盖体22，框体21内形成有容置空间23，且框体21四周的侧壁211上表面处设置有通气孔212。

当制造粉料时，将框体21放置在盖体22上，并将混合好的粉料4放入框体21的容置空间23内，粉料4在容置空间23内的高度不可超过框体21的通气孔212，继续取另一盖体22盖合在框体21表面，使盖体22盖合于框体21的上下表面，进而使容置空间23下方侧与上方侧形成遮蔽，将承载装置2安装在反应装置1的腔体11内，让反应装置1的加热器12对腔体11进行加热，并由进气口111通入反应气体到腔体11内，此时腔体11内的气体压力产生变化，而使腔体11内处于非均压的状态，进而让反应气体由承载装置2的通气孔212进入到容置空间23内与粉料4进行反应。由于反应气体利用腔体11内的气体压力不均而产生流动，而非反应气体本身的动力流经通气孔212，且因通气孔212的高度高于粉料4的高度，让反应气体在流经容置空间23时，不会造成飞散的问题。

如图5、6所示，承载装置2安装于反应装置1的腔体11内层迭使用，即框体21与盖体22交错层迭，使腔体11内空间足够时，可一次处理较多的粉料4，且由于承载装置2的通气孔212位于框体21的侧表面，因此不会产生反应气体无法流人容置空间23的问题。

如图7、8所示，承载装置3的框体31由4个侧壁311围绕并接所形成，使框体31内形成有容置空间33，且各侧壁311的上表面处设置有通气孔312，而盖体32分别盖合于框体31的上下表面，使框体31的容置空间33上下方侧形成遮蔽。