[实用新型]一种柔性OLED专用薄膜封装设备

说明书

技术领域

    本实用新型涉及的是一种柔性OLED专用薄膜封装设备，属于薄膜封装技术领域。

背景技术

OLED是主动发光器件，无需背光源，响应速度快，有机材料的发光光谱可调，其发光层是薄膜结构，因此在动态图像显示和色彩方面具有更大的优势，也更容易实现透明、柔性的显示方式。 OLED目前的主要应用还集中在手机和ipad上，未来将渗透至电视及照明更广的应用领域，可折叠弯曲的特性使其可以戴在手上、穿在身上，窗户、镜子、桌子与显示功能合二为一的愿景将成为可能。

    OLED封装从技术路线图上分析主要分三种：

（1）常规封装，这种常规封装方法，工艺成熟、价格较低，防水性一般；

（2）多层薄膜封装，价格较贵，防水性好；

（3）复合封装，价格适中，性能较好。

OLED薄膜封装设备是影响柔性OLED发展的关键瓶颈之一，封装设备完全依赖于外国进口，受制于国外的限制；目前国内的薄膜封装设备达不到超高水氧阻隔性能，不具备完整的柔性薄膜封装技术设备及产业应用链。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提出一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它是在保证镀膜工艺要求下采用二维直线构架，可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配，在保证成膜均匀性与水氧阻隔性能的同时达到柔软化要求，为下一代柔性OLED提供技术保障。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，所述的进口连接腔通过模块化连接着第一转换腔；所述第一转换腔通过中间起着传送基片作用的过渡腔连接着第二转换腔；所述第一转换腔和第二转换腔的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块和有机沉积模块；所述第一转换腔和第二转换腔的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境。

所述的第一转换腔和第二转换腔主要由真空腔体、电控阀门、支架组成；所述的真空腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，且所述真空腔体安放在支架上面；真空腔体的四个面都有电控阀门与其它腔体模块连接，并且各个腔体可独立成不同真空度及气氛环境。

所述的无机沉积模块主要由无机真空腔体、预备腔体、支架、真空泵系统组成；所述的无机真空腔体及预备腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，且两个腔体均由支架支撑；所述真空泵系统与无机真空腔体以及预备腔体相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求被抽成不同真空度。

所述的有机沉积模块主要由有机真空腔体、预备腔体、支架、真空泵系统组成；所述的有机真空腔体及预备腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，两个腔体相互连接在一起并由支架支撑；所述真空泵系统与有机真空腔体、预备腔体相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。

本实用新型薄膜封装设备基片衬底由进口连接腔进片，通过转换腔在传到无机沉积模块和有机沉积模块进行第一次镀膜，之后再通过过渡腔4在传到下一个转换腔，在进入无机沉积模块和有机沉积模块进行第二次镀膜，这样可反复进行多次镀膜，最后镀好膜的基片衬底经过出口连接腔出片；薄膜封装设备的参数要求可独立设置也可由一中央控制台进行统一控制。

本实用新型所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，具有如下明显有益效果：在保证镀膜工艺的要求下设备采用二维直线构架,可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配；本专利设备镀膜源使用高分子薄膜和氧化物薄膜的叠加水氧阻隔性更好；镀膜设备各个腔体模块化设计，可包容不同薄膜封装工艺的要求，便于柔性OLED技术与应用的推广实施。

附图说明

图1是本实用新型专利柔性OLED专用薄膜封装设备结构示意图。

图2是本实用新型专利薄膜封装设备转换腔模块结构示意图。

图3是本实用新型专利薄膜封装设备无机沉积模块结构示意图。

图4是本实用新型专利薄膜封装设备有机沉积模块结构示意图。。

具体实施方式

 附图中的标号如下：1—进口连接腔、2—第一转换腔、3—无机沉积模块、4—过渡腔、5—出口连接腔、6—有机沉积模块、7—系统电源及控制柜、8—第二转换腔、21—真空腔体、22—电控阀门、23—支架、31—无机真空腔体、32—预备腔体、33—支架、34—真空泵系统、61—有机真空腔体、62—预备腔体、63—支架、64—真空泵系统。