[发明专利]喷头调节机构在审

专利信息
申请号: 201410365766.X 申请日: 2014-07-29
公开(公告)号: CN105312176A 公开(公告)日: 2016-02-10
发明(设计)人: 张镇磊;金一诺;张怀东;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;H01L21/68
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 喷头 调节 机构
【权利要求书】:

1.一种喷头调节机构,其特征在于,包括:

基座,基座的一端具有夹紧块,基座沿X向设置;

调节轴,调节轴安装在夹紧块上,调节轴能相对于夹紧块绕Z向轴旋转,调节轴还能相对于夹紧块沿Z向轴移动;

喷头固定块,转动安装在调节轴的底端,喷头固定块能相对于调节轴绕Y向轴旋转;

喷头,安装在喷头固定块上,喷头的喷嘴位于喷头固定块的第一侧,喷头的接头位于喷头固定块的第二侧。

2.如权利要求1所述的喷头调节机构,其特征在于,所述夹紧块的中心形成圆柱形的槽,所述夹紧块的一侧侧壁上具有调节间隙,一组调节螺栓穿过所述调节间隙。

3.如权利要求2所述的喷头调节机构,其特征在于,所述调节轴呈圆柱形,底端形成平面,所述调节轴安装在所述圆柱形的槽中,旋紧调节螺栓,夹紧块夹紧调节轴,放松调节螺栓,夹紧块放松,调节轴能相对于夹紧块沿Z向轴移动。

4.如权利要求3所述的喷头调节机构,其特征在于,所述喷头固定块通过转轴安装在所述调节轴底端的平面上,所述转轴是Y向轴。

5.如权利要求4所述的喷头调节机构,其特征在于,所述喷头固定块的第一端通过转轴安装在调节轴底端的平面上,所述喷头贯穿喷头固定块的第二端。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备(上海)有限公司,未经盛美半导体设备(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410365766.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top