[发明专利]喷头调节机构在审
申请号: | 201410365766.X | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN105312176A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 张镇磊;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;H01L21/68 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷头 调节 机构 | ||
1.一种喷头调节机构,其特征在于,包括:
基座,基座的一端具有夹紧块,基座沿X向设置;
调节轴,调节轴安装在夹紧块上,调节轴能相对于夹紧块绕Z向轴旋转,调节轴还能相对于夹紧块沿Z向轴移动;
喷头固定块,转动安装在调节轴的底端,喷头固定块能相对于调节轴绕Y向轴旋转;
喷头,安装在喷头固定块上,喷头的喷嘴位于喷头固定块的第一侧,喷头的接头位于喷头固定块的第二侧。
2.如权利要求1所述的喷头调节机构,其特征在于,所述夹紧块的中心形成圆柱形的槽,所述夹紧块的一侧侧壁上具有调节间隙,一组调节螺栓穿过所述调节间隙。
3.如权利要求2所述的喷头调节机构,其特征在于,所述调节轴呈圆柱形,底端形成平面,所述调节轴安装在所述圆柱形的槽中,旋紧调节螺栓,夹紧块夹紧调节轴,放松调节螺栓,夹紧块放松,调节轴能相对于夹紧块沿Z向轴移动。
4.如权利要求3所述的喷头调节机构,其特征在于,所述喷头固定块通过转轴安装在所述调节轴底端的平面上,所述转轴是Y向轴。
5.如权利要求4所述的喷头调节机构,其特征在于,所述喷头固定块的第一端通过转轴安装在调节轴底端的平面上,所述喷头贯穿喷头固定块的第二端。
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