[发明专利]一种PIND检测设备用合成传感器

权利要求书

1.一种PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，包括声发射敏感元件1、敏感件腔体2、耦合载物台3、质量块6、加速度敏感元件7、固定底盖9、连接件10、柔性电路板11、接线柱固定台12和接线柱固定座13；声发射敏感元件1粘贴在耦合载物台3的背面且位于敏感件腔体2内部，敏感件腔体2与耦合载物台3为一体成形，连接件10将固定底盖9和柔性电路板11的一端紧固在敏感件腔体2上，接线柱13与柔性电路板11的另一端焊接，接线柱固定座13和柔性电路板11固定在接线柱固定台12上，加速度敏感元件7和质量块6固定在固定底盖9上，质量块6设在加速度敏感元件1上部，固定底盖9底部设有用于固定合成传感器的螺纹孔；声发射敏感元件1通过导线与柔性电路板11相连以传导输出信号，导线穿过敏感件腔体2的开孔；声发射敏感元件1通过导线二24与加速度敏感元件7信号输出端相连以传导输出信号；加速度敏感元件7通过导线与柔性电路板11相连以传导输出信号，导线穿过固定底盖9的开孔。

2.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述声发射敏感元件1的材质为压电陶瓷且通过橡胶件16与耦合载物台3相粘贴，压电陶瓷为圆柱形，所述压电陶瓷的电极的材质为银，所述加速度敏感元件7的材质为压电陶瓷。

3.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述柔性电路板11的输入端57为圆盘状且中心设有孔，柔性电路板11的输出端55为长方形且两端设有孔。

4.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述固定底盖9为正六边形柱体且中心处分别设有螺纹孔一33和螺纹孔二34，所述固定底盖9的侧壁沿垂直于9的侧壁方向开设有通孔一29、通孔二30和通孔三31。

5.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述连接件10呈锥形且中间开有螺钉孔47。

6.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述接线柱固定台12的上半部分设有一台阶面83，所述接线柱固定台12的下半部分设有一凹槽84。

7.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述接线柱固定座13的形状为长方体，其上端设有两个螺纹孔三35，所述接线柱固定座13的底端设有两个螺纹孔四37，接线柱固定座13上位于两个螺纹孔四37之间设有一空腔40。

8.根据权利要求1所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，敏感件腔体2与耦合载物台3为金属构件。

9.根据权利要求8所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述耦合载物台3包括一扁圆柱体23、一圆管柱体4和一正六边形柱体8，耦合载物台3的顶层部分为扁圆柱体23，耦合载物台3的中间部分为圆管柱体4，耦合载物台3的底层部分为正六边形柱体8且均共中心线。

10.根据权利要求9所述的PIND检测设备用合成传感器，其特征在于，所述圆管柱体4的内腔深入所述扁圆柱体23内部且圆管柱体4深入所述扁圆柱体23内部的深度为2-3mm，所述正六边形柱体8的上下底面为正六边形，正六边形柱体8底面位于圆管柱体4底面上部且与圆管柱体4相距2-3mm。