[实用新型]分离式点胶机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体固晶技术领域，特别涉及一种分离式点胶机构。

背景技术

半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后，将LED晶圆与基板进行键合固定后，再在与基板键合的晶圆上点胶。

现有的点胶机构通常采用一体式结构，在控制点胶摆臂只能上下移动或平行移动，使得点胶的动作时间长，因而影响点胶效率。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种分离式点胶机构，该分离式点胶机构可以避免点胶摆臂不能同步上下移动和平行移动导致的点胶动作时间长，提高点胶效率，其体积小巧，结构紧凑，维护不便。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种分离式点胶机构，该分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合；所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴器与传动轴一端连接，在该传动轴上设有与位置传感器配合的感应片，所述传动件的另一端偏轴心设有从动轴，该从动轴通过传动块与导轨安装板配合，该导轨安装板与点胶支撑臂通过导轨滑动连接；所述点胶摆臂模组包括点胶摆臂支架，在该点胶摆臂支架设有与Theta伺服电机转轴非同轴的摆臂转动轴，一端设有点胶摆臂的摆臂转动轴与安装座传动配合。

进一步地说，所述Theta运动模组还包括设于基座且与设于安装座的感应片配合的传感器，该传感器与控制模块连接。

进一步地说，所述安装座包括前座和后座，所述前座上设有两个平行的导轨，该导轨与后座上的两导槽配合滑动。

本实用新型分离式点胶机构，该分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合；所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴器与传动轴一端连接，在该传动轴上设有与位置传感器配合的感应片，所述传动件的另一端偏轴心设有从动轴，该从动轴通过传动块与导轨安装板配合，该导轨安装板与点胶支撑臂通过导轨滑动连接；所述点胶摆臂模组包括点胶摆臂支架，在该点胶摆臂支架设有与Theta伺服电机转轴非同轴的摆臂转动轴，一端设有点胶摆臂的摆臂转动轴与安装座传动配合。工作时，在控制模块的协调控制下，所述Theta运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂在水平面转动的角度进行调整，同时所述Z向运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂上下位置进行调整，通过适当的调节可以使所述摆臂移动至适当位置对键合的晶圆进行点胶。与现有的技术相比，由于其采用上下移动和转动分离，避免点胶摆臂不能同步上下移动和平行移动导致的点胶动作时间长，提高点胶效率，其体积小巧，结构紧凑，维护不便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型分离式点胶机构实施例结构示意图。

图2是本实用新型分离式点胶机构结构分解示意图。

图3是Z向运动模组实施例分解结构示意图。

图4是Theta运动模组实施例分解结构示意图。

图5是点胶摆臂模组实施例分解结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示，本实用新型提供一种分离式点胶机构实施例。