[实用新型]一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪

权利要求书

1.一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于包括：

太赫兹发射器，用于产生太赫兹波；

激光产生装置，用于产生激光光束，并进行激光光束调制；

角度转换器，用于调节激光光束入射角、太赫兹波入射角，使得激光光束入射角、太赫兹波入射角相同，并且激光光束、太赫兹波中心点重合；所述太赫兹波通过太赫兹发射器产生； 

孔径成像装置，用于将通过角度转换器调节后的激光光束、太赫兹波，聚焦到孔径成像装置的测试窗口；实现对被测样品的成像，其中孔径成像装置通过二维扫描平移台移动； 

太赫兹探测器，用于探测被测样品反射或透射的太赫兹波，并输出相应的电信号；

锁相放大器，用于接收激光产生装置产生的参考信号，同时接收太赫兹探测器输出的电信号，进行信号提取及放大，得到被测样品图像；

太赫兹发射器、激光产生装置分别通过角度转换器与孔径成像装置测试窗口光连接，孔径成像装置输出端与太赫兹探测器光连接，激光产生装置与锁相放大器一输入端连接，太赫兹探测器输出端与锁相放大器另一输入端连接，锁相放大器输出被测样品信号，计算机接收锁相放大器输出信号并重构出被测样品图像。

2.根据权利要求1所述的一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于激光产生装置包括激光器、斩波器、第一透镜，所述激光器输出的激光光束通过第一透镜、角度转换器转换后聚焦于孔径成像装置，所述斩波器输出其工作频率信号给锁相放大器一输入端，斩波器输出的工作频率信号作为参考信号，所述第一透镜是将通过斩波器的激光光束进行聚焦，使得被测样品轮廓直径Y_R为调制后的激光器光束直径G_R满足Y_R≥2G_R。

3.根据权利要求1所述的一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于所述孔径成像装置包括：形成测试窗口的熔融石英层、二氧化钒薄膜层以及被测样品层，所述二氧化钒薄膜层两端面分别与熔融石英层下表面与被测样品层上表面紧贴，所述太赫兹波、经调制的激光器聚焦于熔融石英层下表面，所述二氧化钒薄膜层上表面与熔融石英层下表面紧贴，被测样品上表面紧贴于二氧化钒薄膜层下表面，被测样品下表面透射或者被测样品上表面反射的太赫兹波通过太赫兹探测器接收。

4.根据权利要求1所述的一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于所述角度转换器是导电玻璃时：激光产生装置产生的激光器光束透过导电玻璃，随后入射到孔径成像装置表面，太赫兹光谱装置产生的太赫兹波通过导电玻璃反射到孔径成像装置表面；当角度转换器是硅片时：激光器产生的激光器光束通过硅片反射到孔径成像装置表面；太赫兹光谱装置产生的太赫兹波透过硅片，随后入射到孔径成像装置表面。

5.根据权利要求1至4之一所述的一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于还包括第二透镜，所述第二透镜对太赫兹发射器输出的太赫兹波进行聚焦，然后将聚焦后的太赫兹波输入到角度转换器。