[实用新型]静电消除器的蛇管喷头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种静电消除器的蛇管喷头，其用于安装于静电消除器上，以输出由静电消除器产生的带有离子的气体。

背景技术

静电消除器是应用于半导体晶圆、玻璃基板或电路板等工件的制造过程中消除工件表面的静电的装置，其是利用放电针产生电晕放电效应而将气体离子化，并将带有离子的气体通过静电消除器的喷嘴吹至工件表面，而使工件表面的静电被中和。

在应用上，依据工件表面积或消除静电的表面位置的需求，静电消除器区分有许多种类，例如小型、手持式、风扇式、棒状，其中小型及手持式的静电消除装置应用于小面积、设备或工件内部、局部除电的需求。

一般而言，静电消除器配置的位置与默认的工件位置或操作区之间会相距一工作距离，随着工件的种类、大小或外型不同，必须调整工件位置或静电消除器的位置，而操作不便；另外，有些工件例如圆管状等，需要消除静电的表面可能位于圆管状的工件内壁，或者，在工件的特定位置的局部除电，必须人工操作调整静电消除器及其喷嘴方向，才能使带有离子的气体可到达所需消除静电的表面，导致操作复杂且不便以及时间、人力成本的浪费。

发明内容

为解决上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于静电消除器的蛇管喷头，其可将带有离子的气体通过该蛇管喷头由该静电消除器引导至工件的表面，并可弯折挠曲该金属蛇管的管身而调整金属蛇管前端的喷嘴出口的方向，使用者只要调整金属蛇管的管身而无需移动整个静电消除器，可提升方便性及简化操作。

为达上述的目的及其它目的，本实用新型的一种用于静电消除器的蛇管喷头，其中该静电消除器具有一喷头组装口及连通该喷头组装口的一容置凹槽，该容置凹槽的底部凸出一供电端子，该供电端子用于提供高压电，该蛇管喷头包括一金属蛇管、一管接头、一喷嘴、一绝缘内管及一放电单元，其中，该管接头设置于该金属蛇管的一端，用于组装至该喷头组装口；该喷嘴设置于该金属蛇管相对于该管接头的另一端；该绝缘内管设置于该金属蛇管中并具有一通道及连通该通道的一第一端与一第二端，该第一端通过并凸出于该金属蛇管的管接头，该第二端容置于该喷嘴中；该放电单元设置于该绝缘内管的通道中并具有一导线、一放电针及一导电接头，该导线的长度大于该通道，该导电接头设置于该导线的一端且凸出于该绝缘内管的第一端，以用于连接该静电消除器的供电端子，该放电针设置于该导线的另一端且凸出于该绝缘内管的第二端。

上述的蛇管喷头中，该绝缘内管的第一端上设置有一第一固定座，该第一固定座具有多个气体入口及一第一固定孔，该第一固定孔固定该导电接头，以使该导电接头抵接该静电消除器的容置凹槽底部的供电端子。

上述的蛇管喷头中，该第一固定座为圆板状，该第一固定孔位于该第一固定座的中央，这些气体入口排列环绕该第一固定孔。

上述的蛇管喷头中，该绝缘内管的第二端设置有一第二固定座，该第二固定座具有多个气体出口及一第二固定孔，该放电针穿过该第二固定孔。

上述的蛇管喷头中，该第二固定座具有一圆管状侧壁及该圆管状侧壁中的一隔板，这些气体出口及该第二固定孔贯穿该隔板，该第二固定孔位于该隔板的中央，这些气体出口排列环绕该第二固定孔。

因此，本实用新型的蛇管喷头，是通过在该金属蛇管中设置由绝缘内管套设的放电单元，用户可弯折挠曲该金属蛇管的管身而调整金属蛇管前端的喷嘴出口的方向，而无需移动整个静电消除器，可提升方便性及简化操作；并且，该放电单元具有该导线及设置于导线两端的放电针与导电接头，该放电针对应该蛇管喷头的喷嘴的位置，使该放电针发生电晕放电现象的位置位于该喷嘴中，而使离子一产生便被吹出至工件表面，可减少离子因到达工件表面的距离太长而被中和的状况，并降低漏电、电弧产生的可能。

附图说明

图1为本实用新型实施例的蛇管喷头与静电消除器的部分分解示意图。

图2为本实用新型实施例的蛇管喷头与静电消除器的结合示意图。

图3为图2中沿A-A的剖面示意图。

图4为图2中沿B-B的剖面示意图。

【主要组件符号说明】

10  静电消除器

11  喷头组装口

12  容置凹槽

13  供电端子

14  气体管路

100 蛇管喷头

110 金属蛇管

120 管接头

130 喷嘴

140 绝缘内管

141 通道

142 第一端

143 第二端

150 放电单元