[实用新型]一种压电陶瓷隔膜泵

权利要求书

1.一种压电陶瓷隔膜泵，包括弹性薄膜（1），球壳（2），振动管（4），压电元件（5），泵腔上盖（6），密封垫（7），泵腔底盖（8），进口单向阀（9），出口单向阀（10）和隔膜（11），其特征在于，所述振动管（4）的一端外壁连接所述压电元件（5），另一端的端面连接所述球壳（2），且所述球壳（2）的开口处由所述弹性薄膜（1）密封，所述压电元件（5）和所述振动管（4）的共同端固定连接于所述泵腔上盖（6），所述泵腔上盖（6）内安装有所述隔膜（11），且所述泵腔上盖（6）与所述密封垫（7）、所述泵腔底盖（8）固定连接，所述泵腔底盖（8）上安装有所述进口单向阀（9）和所述出口单向阀（10）。

2.根据权利要求1所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述弹性薄膜（1），所述球壳（2），所述振动管（4），所述泵腔上盖（6）和所述隔膜（11）组成密封腔，且所述密封腔内注有驱动液体（3）；所述泵腔上盖（6），所述密封垫（7）和所述泵腔底盖（8）组成了泵腔；所述泵腔底盖（8）上还安装有进流口和出流口。

3.根据权利要求1所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述压电元件（5）可以为一个且连接于所述振动管（4）的外壁一侧；所述压电元件（5）可以为两个且连接于所述振动管（4）的外壁相对位置而产生方向相反的形变；所述压电元件（5）可以为2n且n=2,3,4…个且连接于所述振动管（4）的外壁沿所述振动管（4）的外径均匀放置，压电振子平均分为位置相互对称的两组，所述两组振子产生方向相反的变形。

4.根据权利要求1所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述压电元件（5）可以采用压电陶瓷片、压电陶瓷管、压电陶瓷中空纤维或沉积于所述振动管（4）外壁的压电薄膜结构中的一种。

5.根据权利要求4所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述压电元件（5）采用所述压电陶瓷管，所述压电陶瓷管套接在所述振动管（4）上，其内壁与所述振动管（4）的外壁粘结，且共同粘结端固定于所述泵腔；所述压电陶瓷管外壁电极平均等分为2份，施加的两路驱动电压信号在振动管振动时相位相差180度，停止振动时保持一致。

6.根据权利要求2所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述振动管（4）采用金属材料；所述球壳（2）采用塑料或玻璃材料；所述弹性薄膜（1）和所述隔膜（11）采用橡胶或乳胶材料；所述驱动液体（3）为水或者密度与粘度之比大于水的液体。

7.根据权利要求6所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述振动管（4）采用金属材料成为金属管，所述金属管外径为0.1 ～ 6mm，内径为0.05～5mm，长度大于等于外径的20倍，所述金属管长度大于所述压电元件（5）长度的3倍。

8.根据权利要求4所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述压电陶瓷片厚度为0.01 ～ 5mm，宽度为0.5 ～ 10mm，长度大于厚度的5倍；所述沉积在金属管外层的压电陶瓷薄膜厚度为0.01 ～ 0.2mm，长度大于外径的5倍；所述压电陶瓷管或所述压电陶瓷中空纤维外径为0.1 ～ 10mm，内径为0.08 ～ 5mm，长度大于外径的5倍。

9.根据权利要求1所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述压电元件（5）与所述振动管（4）采用环氧树脂胶或AB胶或快干胶相粘结，或所述压电元件（5）采用压电陶瓷烧结工艺固结在金属管外壁上。

10.根据权利要求1所述的压电陶瓷隔膜泵，其特征在于，所述隔膜（11）与所述泵腔上盖（6）采用环氧树脂胶或AB胶或快干胶相粘结，所述弹性薄膜（1）与所述球壳（2）采用环氧树脂胶或AB胶或快干胶相粘结。