[实用新型]旋转装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体制造及半导体加工的设备，特别是一种用于端面磨改切割机的旋转装置。 

背景技术

目前，在例如LED蓝宝石衬底等的加工过程中，需要对其进行切割，从而得到符合要求的产品。 

例如，北京京联发生产的型号为400-6就是业内常用的端面磨设备，在加工时，例如进行切割晶棒，采用卡抓夹持晶棒，并使得卡抓固定不动，利用刀具与晶棒接触从而进行切割。但是，随着切割的进行，刀具与晶棒的接触量在逐渐的变化，并带有强烈的震动，这就容易导致出现切裂乃至破碎等异常现象，从而影响了切割效果。 

实用新型内容

现有技术的旋转装置对工件的切割效果较差，本实用新型提供一种旋转装置，以解决上述问题。 

本实用新型提供一种旋转装置，包括卡抓和卡盘，所述卡抓设置于卡盘的一侧，还包括减速电机，所述减速电机通过物理传送连接所述卡盘的另一侧。 

可选的，对于所述的旋转装置，所述减速电机通过传送带连接所述卡盘。 

可选的，对于所述的旋转装置，所述传送带为同步皮带。 

可选的，对于所述的旋转装置，所述减速电机通过齿轮连接所述卡盘。 

可选的，对于所述的旋转装置，所述减速电机的转速为20rpm～100rpm。 

本实用新型提供的旋转装置，引入了减速电机，通过物理传送连接卡盘， 从而使得在加工工件时，能够使得工件进行旋转，这就使得工件从单侧加工变成旋转加工，避免了工件切口只在一个方向，也就大大的降低了产生切裂或破碎的可能性，也提高了成品质量。 

附图说明

图1为本实用新型实施例的旋转装置的结构示意图。 

具体实施方式

正如背景技术中所述，目前的旋转装置经常容易发生工件损坏的情况，经研究发现，工件在加工过程中保持固定是一个主要因素，因此，若使得工件在加工的过程中也能够运动，其受损几率将降低。 

本实用新型提供一种旋转装置，请参考图1，包括卡抓1和卡盘2，所述卡抓1设置于卡盘2的一侧20，用于夹持工件。在卡盘2的另一侧21处则通过传送带4连接一减速电机3，减速电机3能够通过传送带4带动卡盘2和卡抓1一起转动，优选的，所述减速电机3的转速可控，其可以在20rpm～100rpm。 

在本实施例中，所述传送带4为同步皮带，以避免出现打滑等现象。 

在其他实施例中，可以将传送带4换为例如齿轮，所述齿轮的数量大于等于两个，进行动力的传递，还可以采用例如传送杆等其他物理传送装置，以便增加使用寿命，也能够有效杜绝打滑现象，减少磨损所产生的微粒。 

综上所述，本实用新型提供的旋转装置，引入了减速电机，通过物理传送连接卡盘，从而使得在加工工件时，能够使得工件进行旋转，这就使得工件从单侧加工变成旋转加工，避免了工件切口只在一个方向，也就大大的降低了产生切裂或破碎的可能性，也提高了成品质量。 

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和 变型在内。