[实用新型]一种用于生产薄膜太阳能电池的电沉积装置有效
申请号: | 201320156643.6 | 申请日: | 2013-04-01 |
公开(公告)号: | CN203333802U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 李伟中;张征宇 | 申请(专利权)人: | 北京恒基伟业投资发展有限公司 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张杰 |
地址: | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生产 薄膜 太阳能电池 沉积 装置 | ||
1.一种用于生产薄膜太阳能电池的电沉积装置,包括
电沉积槽,其中充满电解液;
接触电极(2),与待电沉积表面电连接;
对电极,与所述接触电极(2)形成电连通;
其特征在于,所述接触电极(2)与所述待电沉积表面欧姆接触且为面接触,所述接触电极(2)与所述待电沉积表面的接触面为长条形。
2.根据权利要求1所述的电沉积装置,其特征在于,所述长条形为直线长条形或曲线长条形。
3.根据权利要求1或2所述的电沉积装置,其特征在于,所述长条形的有效长度大于或等于与其接触的待电沉积表面的长度。
4.根据权利要求3所述的电沉积装置,其特征在于,所述接触电极(2)的设置的位置与第一沟槽(P1)和/或第二沟槽(P2)和/或第三沟槽(P3)所在的位置部分或全部重叠。
5.根据权利要求1或2或4所述的电沉积装置,其特征在于,第一沟槽(P1)、第二沟槽(P2)和第三沟槽(P3)的形状与所述接触电极相对应。
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