[发明专利]大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法

权利要求书

1.大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置，其特征在于：包括氙气瓶、减压器、流量计、电磁阀、真空计A、真空计B、真空计C、外置式低温泵A、外置式低温泵B、罗茨泵机组、真空舱、压力表A、压力表B、安全阀；

所述的氙气瓶、减压器、流量计与电磁阀通过供气管路顺次连接；供气管路的出气端与真空舱前部连通，且供气管路的出气端伸入真空舱内部；氙气瓶与减压器间的供气管路上安装有压力表A和安全阀；减压器和流量计间的供气管路上安装有压力表B；

所述罗茨泵机组通过管道与真空舱相连；外置式低温泵A与外置式低温泵B以及真空计A、真空计B、真空计C均安装在真空舱侧壁上。

2.如权利要求1所述大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置，其特征在于：所述电磁阀位于供气管路的出气端，同时位于真空舱内部。

3.如权利要求1所述大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置，其特征在于：所述外置式低温泵A与外置式低温泵B相邻且位于真空舱同侧；且真空计A、真空计B与真空计C在真空舱上分散布置。

4.如权利要求1所述大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置，其特征在于：所述流量计有效量程0～15mL/min，响应时间t≤1sec，准确度u₁≤0.5%；且真空计A、真空计B与真空计C均具有ZJ12型热阴极电离规，有效量程为6×10^-8～1×10^-1Pa。

5.大口径外置式低温泵氙气抽速测试方法，其特征在于：通过下述步骤实现单泵抽速测试：

步骤1：启动罗茨泵机组将真空舱内压力抽至5Pa；

步骤2：启动外置式低温泵将真空舱内压力抽至极限压力P₀；

步骤3：向真空舱内通入压强为a、流量为b的氙气；a的值通过三个真空计测量取平均获得，b的值通过流量计获得；

步骤4：当三个真空计测量真空舱内压力恒定后，记录三个真空计测量的压强平均值P′，通过下式获得外置式低温泵的抽气速度S：

S=QP′-P0]]>

其中，Q为氙气实际流量，

6.如权利要求5所述大口径外置式低温泵氙气抽速测试方法，其特征在于：所述流量计的标定方法为：以N₂作为标定介质，向真空舱内通入氙气，通过下式对质量流量计表头读数进行标定，得到标定曲线；

q＝σ₁q₀

其中，q为通过流量计测得氙气实际流量；σ₁为修正系数，取σ₁=1.431；q₀为流量计显示流量。

7.如权利要求5所述大口径外置式低温泵氙气抽速测试方法，其特征在于：所述真空计标定方法为：以N₂作为标定介质，向真空舱内通入氙气，通过下式分别对真空计表头读数进行标定，得到真空度标定曲线：

P=P2σ2]]>

式中：P为氙气环境下真空舱内压强实际值；σ₂为修正系数，取σ₂=2.73；P₂为真空计测量的真空舱内压强测量值。