[发明专利]一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法

权利要求书

1.一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，其特征在于包括以下步骤：

1）用HF酸溶液对透明光学元件表面清洗，然后利用抽真空装置对透明光学元件表面抽真空造成低压，同时在透明光学元件局部表面喷洒不与光学元件反应的小分子颜料的溶液，直至小分子颜料进入并充满亚表面裂纹，随后移除抽真空装置，再清洗透明光学元件表面，利用角度交叉的双摄像头对透明光学元件表面多点拍摄；

2）利用显微镜调焦对界面下的缺陷成像，再通过分析算法，处理成三维图像，并计算亚表面裂纹深度。

2.如权利要求1所述一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，其特征在于在步骤1）中，所述HF酸溶液的百分比浓度为5%。

3.如权利要求1所述一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，其特征在于在步骤1）中，所述不与光学元件反应的小分子颜料的溶液选自品红、苏丹红或墨水中的一种。

4.如权利要求1所述一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，其特征在于在步骤1）中，所述再清洗透明光学元件表面采用酒精或水清洗。