[发明专利]一种光栅线宽比测量方法

权利要求书

1.一种光栅线宽比测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.提供SEM仪器以及已知线宽比为O₀的光栅，将SEM仪器的扫描线视为试件栅，将已知线宽比为O₀的光栅视为参考栅，二者叠加能够形成云纹；

S2.将所述参考栅放置于SEM仪器的载物台中央，调节SEM仪器的放大倍数x直至形成清晰地云纹条纹，记录此时所述云纹条纹的形状参数，根据所述O₀和所述形状参数计算当前放大倍数x下SEM仪器扫描线的线宽比O_a，最终得到一系列x与O_a的映射关系，即标定出不同放大倍数下的SEM仪器扫描线线宽比；

S3.将未知线宽比的光栅放置于SEM载物台中央，调节SEM仪器的放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录此时所述云纹条纹的形状参数，查询所述S2中标定得到当前放大倍数下SEM仪器扫描线的线宽比，结合反演方法计算得到未知线宽比的光栅的线宽比为O_b。

2.如权利要求1所述的光栅线宽比测量方法，其特征在于，所述云纹条纹的形状参数包括：条纹截面的梯形上底宽度参数Q，以及条纹截面的梯形斜边的投影宽度参数R。

3.如权利要求2所述的光栅线宽比测量方法，其特征在于，线宽比分别为O₁和O₂的两个光栅叠加形成云纹参数为Q和R的云纹条纹，所述O₁、O₂、Q和R之间满足关系式：

4.如权利要求1所述的光栅线宽比测量方法，其特征在于，所述已知线宽比为O₀的光栅、所述SEM仪器的扫描线和所述未知线宽比的光栅均为对称的周期性光栅。