[实用新型]一种集成式特气房

说明书

技术领域

本实用新型涉及特种气体系统工程设备技术领域，特别涉及一种集成式特气房。

背景技术

特种气体（以下简称特气）是指用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体以及工艺设备所使用的气体，大部分的特气泄漏后会对人员的生命健康造成威胁，也对环境造成污染，因此在实际生产中需要对特气设置单独的储存空间，便于对其进行较为妥善的保存。

现有技术中，通常根据生产厂房所使用的特气的种类以及使用量决定是单独的区域建造独立的特气间还是在生产厂房内布置特气间。布置在生产厂房内的特气间，一般采用气瓶柜、气瓶架和气瓶集装格等部件向生产线供应特种气体，而当生产厂房内的气体储量超过规定容量时，必须设计独立的特种气体房，一般采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车等向生产线供应特种气体。根据特种气体的性质一般又需要分为可燃性气体间、毒性/腐蚀性气体间和惰性气体间等。综上可知，不论是在生产厂房内布置特气间还是在单独的区域建造独立的特气房，均为土建结构。而且建设完成后，操作人员需要在建设好的特气房内对气体控制柜、气体监控装置以及配套管路进行布置，即需要操作人员在施工现场进行工作，不利于对特气房的集中生产。此外，由于土建结构的特气间或特气房的建设周期长，建造成本高，工程量大，且特气房内各种气体供应系统的安装调试受用户水、电、气等配套条件的影响，不可避免的会对用户的生产建设周期造成影响。

因此，如何提供一种特气房，以便集中生产同时降低建设周期，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种特气房，以便集中生产同时降低建设周期。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种集成式特气房，包括特气房主体和设置在所述特气房主体内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统，其中，所述特气房主体为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。

优选地，上述的集成式特气房中，所述特气房主体为金属板构成的箱子。

优选地，上述的集成式特气房中，所述特气房主体为集装箱。

优选地，上述的集成式特气房中，还包括EHS安全系统。

优选地，上述的集成式特气房中，所述特气房主体的下底板上铺设有防静电耐磨PVC地板。

优选地，上述的集成式特气房中，所述特气房主体的侧壁均铺设有防火板。

优选地，上述的集成式特气房中，所述特气房主体的侧壁设置有门。

优选地，上述的集成式特气房中，所述门为推拉式伸缩门或快推式防火门。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供了一种集成式特气房，包括特气房主体和设置在特气房主体内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统，其中，特气房主体为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。通过将特气房主体设置为能够被运输的箱子的形式，使得特气房主体内部的设备、装置和管阀等的安装和调试工作均可在制造工厂内完成。使用时，只需要将其运输到用户现场，通过管道的连通即可实现特种气体的供应。通过上述描述可知，该集成式特气房可集中进行建设，因此，与土建房相比建造成本低，生产周期短。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的集成式特气房的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型核心是提供一种集成式特气房，以便集中生产同时降低建设周期。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1，图1为本实用新型实施例提供的集成式特气房的结构示意图。

本实用新型实施例公开的集成式特气房，包括特气房主体1和设置在该特气房主体1内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统，其中，特气房主体1为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。

通过将特气房主体1设置为能够被运输的箱子的形式，使得特气房主体1内部的设备、装置和管阀等的安装和调试工作均可在制造工厂内完成，使用时，只需要将其运输到用户现场，通过管道的连通即可实现特种气体的供应。通过上述描述可知，该集成式特气房可集中进行建设，因此，与土建房相比建造成本低，生产周期短。