[发明专利]基于合成射流的压电微泵无效
申请号: | 201210536492.7 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103016296A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 何秀华;邓志丹;李富;蔡盛川;韦丹丹 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | F04B23/10 | 分类号: | F04B23/10 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 合成 射流 压电 | ||
1.基于合成射流的压电微泵,包括上泵体、上腔体、喷口、下泵体、下腔体、振动膜片和压电致动器,在上泵体上加工出泵进口和泵出口,上泵体和下泵体由上到下键合在一起,上泵体下方是上腔体,下泵体下方是下腔体,泵进口和泵出口通过上腔体与喷口相连通,喷口将上、下腔体相连通,振动膜片粘结于下泵体下表面,压电致动器通过粘结剂粘结在振动膜片下表面中央,其特征在于:喷口直径 为0.1mm-2mm,上腔体的高度与喷口的直径比值范围为:,下腔体的直径与喷口的直径比值50,喷口深度与喷口直径比值26。
2.如权利要求1所述的基于合成射流的压电微泵,其特征在于:泵进口与泵出口间的圆心距为上泵体半径的3/4。
3.如权利要求1所述的基于合成射流的压电微泵,其特征在于:所述泵进口、泵出口、上泵体、上腔体、下腔体、下泵体、喷口、振动膜片及压电致动器的截面形状均为圆形。
4.如权利要求1所述的基于合成射流的压电微泵,其特征在于:泵出口、上泵体、喷口、下泵体、压电致动器、振动膜片的中心线在竖直方向上共线。
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