[发明专利]微型浮质喷嘴和浮质喷嘴阵列

权利要求书

1.一种用于将材料沉积在目标上的沉积头，包括：

管，所述管用于输送包括所述材料的浮质；

用于输送鞘气的室，所述室围绕所述管；

收敛管嘴，所述收敛管嘴用于将所述鞘气与所述浮质相结合，从而形成环状喷流，所述环状喷流包括围绕内部浮质流的外部鞘流；以及

用于输送所述环状喷流的伸长管嘴。

2.根据权利要求1所述的沉积头，其中所述室足够长以在所述鞘气与所述浮质相结合前鞘气大致平行于所述浮质流动。

3.根据权利要求2所述的沉积头，其中所述室是圆柱形的。

4.根据权利要求3所述的沉积头，其中所述鞘气的压力分布是圆柱形对称的。

5.根据权利要求3所述的沉积头，其中所述室与所述管同心。

6.根据权利要求1所述的沉积头，其中所述伸长管嘴包括内径，所述内径朝向出口逐渐减小。

7.根据权利要求1所述的沉积头，其中所述沉积头不使用充气室。

8.一种沉积材料的方法，包括如下步骤：

通过管输送包括所述材料的浮质；

通过围绕所述管的室输送鞘气；

通过收敛管嘴将所述浮质与所述鞘气相结合，从而形成环状喷流，所述环状喷流包括围绕内部浮质流的外部鞘流；

通过伸长管嘴输送所述环状喷流；以及

沉积所述材料。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述输送鞘气的步骤包括提供足够长的流路，以在结合步骤前鞘气大致平行于所述浮质流动。

10.根据权利要求8所述的方法，还包括形成圆柱形对称的鞘气压力分布的步骤。

11.根据权利要求8所述的方法，还包括集中所述环状喷流的步骤。

12.根据权利要求8所述的方法，还包括减小所述环状喷流的直径的步骤。