[发明专利]配置有电镀液回收使用装置的电镀设备

权利要求书

1.一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。

2.根据权利要求1所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，从电镀液池排除的电镀液经由排废管路排除并被过滤装置过滤，此后，电镀液分析单元对过滤装置过滤后的电镀液进行分析，当判断过滤后的电镀液可用，则将过滤后的电镀液通过废液收集管路注入电镀液收集池。

3.根据权利要求1或2所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，当电镀液收集池中保存有电镀液时，电镀液收集池向控制单元发送通知信息。

4.根据权利要求3所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，在需要向电镀液池注入电镀液时，控制单元根据是否从电镀液收集池接收到通知信息来向进液选择开关发送第一开关信号或第二开关信号，其中第一开关信号使得进液选择开关选择开启电镀液收集池与进液选择开关之间的循环通路，而第二开关信号使得进液选择开关选择不开启电镀液收集池与进液选择开关之间的循环通路。

5.根据权利要求1或2所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，电镀液分析单元向控制单元发送废液收集信号或废液排除信号，从而通过控制单元控制废液的流向。

6.根据权利要求1或2所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，过滤装置布置在排废管路中。

7.根据权利要求1或2所述的配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于，过滤装置用于去除电镀液中的添加剂和/或杂质。