[发明专利]一种基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法有效

专利信息
申请号: 201210431373.5 申请日: 2012-11-01
公开(公告)号: CN102950036A 公开(公告)日: 2013-03-06
发明(设计)人: 秦建华;孟昭旭;徐涛;张旭 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 张晨
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 纺丝 模板 制备 微流控 芯片 方法
【权利要求书】:

1.一种基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:将纺丝材料配制成一定浓度的纺丝溶液,通过静电纺丝法在电纺丝模板基片表面沉积具有特定厚度的纺丝层,通过光刻步骤形成电纺丝模板,电纺丝模板浸涂一层脱模剂并干燥,浇注PDMS,固化后洗涤、干燥,制备出具有纳米结构通道表面的微流控芯片。

2.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述纺丝材料为SU-8系列光刻胶,溶剂为环戊酮,纺丝溶液浓度范围为60%~95%(v/v)。

3.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述静电纺丝法的条件为:纺丝电压范围7kV~10kV,流速范围0.1ml/h~0.5ml/h,纺丝时间1~2h。

4.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述电纺丝模板的基片为玻璃片或硅片。

5.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述光刻步骤为:不经过前烘,曝光时间10~30s;后烘时间3~5min,温度95℃;显影时间3~5min;坚膜时间1h,温度180℃。

6.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述脱模剂为聚乙烯吡咯烷酮,溶解脱模剂的溶剂为乙醇,脱模剂溶液的浓度为0.04mg/ml。

7.根据权利要求1所述基于电纺丝模板制备微流控芯片的方法,其特征在于:所述PDMS固化后用纯净水超声洗涤,去除黏附的聚乙烯吡咯烷酮。

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