[发明专利]一种AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀及其制备方法

权利要求书

1.一种AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀，其特征在于：

所述滚齿刀的基体为高速钢或硬质合金，其表面有从内到外由结合层、过渡层、支撑层、耐磨层依次构成的复合涂层，且：

1）结合层为Cr层；

2）过渡层为CrN层；

3）支撑层为AlTiN/CrN层；

4）耐磨层为AlTiN/AlCrN层。

2.如权利要求1所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀，其特征在于：所述复核涂层的厚度为1-10微米，其中

1）结合层厚度为20-60纳米；

2）过渡层厚度为100-300纳米；

3）支撑层厚度为200-1000纳米；

4）耐磨层厚度为0.5-10微米。

3.如权利要求1或2所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀，其特征在于：所述支撑层为AlTiN层和CrN层交替构成的AlTiN/CrN多层涂层；其AlTiN层单层的厚度为3-5纳米，CrN层单层的厚度为2-5纳米。

4.如权利要求1或2所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀，其特征在于：所述耐磨层为AlTiN层和AlCrN层交替构成的AlTiN/AlCrN多层涂层；其AlTiN层单层的厚度为3-5纳米， AlCrN层单层的厚度为2-5纳米。

5.一种如权利要求1所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀的制备方法，其特征在于由下述步骤依次形成：

1）对滚齿刀进行辉光清洗后,在其表面沉积结合层，该结合层为Cr层；

2）在上步得到的结合层上沉积过渡层，该过渡层为CrN层；

3）在上步得到的过渡层上沉积支撑层，该AlTiN/CrN层；

4）在上步得到的支撑层上沉积耐磨层，该AlTiN/AlCrN层；自然冷却，即得。

6.如权利要求5所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀的制备方法，其特征在于：所述支撑层为AlTiN层和CrN层交替构成的AlTiN/CrN多层涂层。

7.如权利要求5所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀的制备方法，其特征在于：所述耐磨层为AlTiN层和AlCrN层交替构成的AlTiN/AlCrN多层涂层。

8.如权利要求5-7任一所述的AlTiN-AlCrN超硬纳米多层复合涂层滚齿刀的制备方法，其特征在于：

1）所述的辉光清洗的条件为：温度为250－450℃，氩气环境下；

2）所述结合层的沉积条件为：气压0.01-0.1Pa，电压－900V到－1000V；

3）所述过渡层的沉积条件为：氮气环境下，气压0.1-2.3Pa，电压－100V到－250V； 

4）所述支撑层的沉积条件为：氮气环境下，气压0. 5-5Pa，偏压－50V到－200V;

5）所述耐磨层的沉积条件为：气压0.5-5Pa气压, 偏压－50V到－300V。