[发明专利]硅工作台

权利要求书

1.一种硅工作台，用来承载光纤，所述硅工作台包括一个本体和设置在所述本体上的凹槽和光学元件，所述凹槽用来使所述光纤与光学元件精确对准，所述本体具有相对的第一表面和第二表面以及相对的第三表面和第四表面，所述凹槽由所述第一表面向所述第二表面凹陷且由所述第三表面向所述第四表面延伸，所述光学元件位于所述第四表面对应所述凹槽的位置，其特征在于，所述凹槽为方形结构且包括相连的第一部份和第二部份，所述第一部份远离所述第二部份的一端为平面，所述第二部份为喇叭形状。

2.如权利要求1所述的硅工作台，其特征在于，所述第二部份与外界相通。

3.如权利要求1所述的硅工作台，其特征在于，所述第一部份的长度大于所述第二部份的长度。

4.如权利要求1所述的硅工作台，其特征在于，所述凹槽藉由蚀刻方式设置在所述本体上。

5.如权利要求2所述的硅工作台，其特征在于，所述第二部份包括窄端和宽端，所述窄端连接所述第一部份，所述宽端与外界相通。