[发明专利]特气柜控制系统及特气柜中钢瓶更换的检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及特气供应领域中的安全控制技术，具体的说，是涉及一种特气柜系统以及特气柜中钢瓶更换的检测方法。

背景技术

特气柜用于为某些领域如：半导体的生产供应特殊气体如：易燃、易爆、有毒气体。本公司生产的特气柜如图1所示，其包括并联连接的主气路、备气路；还包括吹扫供气气路、抽真空气路；其中主气路包括钢瓶自带开关ESVL、主气路管道；主气路管道通过钢瓶接口与钢瓶连接，主气路管道上顺次设有气动开关AV2L、减压阀PRV1L、气动开关AV3L；抽真空气路通过气动开关AV5L连接主气路；抽真空气路包括抽真空气路管道，所述抽真空气路管道上顺次设有气动开关AV6、单向阀CV、抽真空装置VG1；其中抽真空装置VG1与气动开关AV5L相连；所述备气路包括钢瓶自带开关ESVR，备气路管道；备气路管道通过钢瓶接口与钢瓶连接，备气路管道上顺次设有气动开关AV2R、减压阀PRV1R、气动开关AV3R；所述主气路通过气动开关AV4L、气动开关AV4R与备气路相连；所述吹扫供气气路包括吹扫气路管道和稀释气路管道，为了简化设计，吹扫气路管道与稀释气路管道共用减压阀PRV、气动开关AV1；所述吹扫气路管道通过手动阀MV2接主气路中的钢瓶的接口，通过手动阀MV1R接备气路中的钢瓶的接口；稀释气路通过单向阀CV1L和气动开关AV1L接主气路中的钢瓶接口，通过单向阀CV1R和气动开关AV1R接备气路中的钢瓶接口；

图1中，有5个压力检测点用于对相应位置进行压力测试，从而判断系统阀门是否关闭可靠，或者特气是否即将用完；这5个压力检测点的分布情况是：主气路的钢瓶接口处的压力检测点PT1L、主气路的减压阀PRV1L与气动开关AV3L之间的压力检测点PT2L、备气路的钢瓶接口处的压力检测点PT1R、备气路的减压阀PRV1R与气动开关AV3R之间的压力检测点PT2R、吹扫供气气路的减压阀PRV与气动开关AV1之间的压力检测点PTN。

当特气柜中钢瓶的气压不足时，需要更换新的钢瓶，而如何准确检测当前是否需要更换钢瓶，成为当前特气供应领域的一项重点研究。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提出一种特气柜中钢瓶的更换的检测方法，实现安全有效的更换钢瓶。

本发明解决上述技术问题所采用的方案是：特气柜中钢瓶更换的检测方法，应用于特气柜中，所述特气柜包括：主气路、备气路、抽真空气路、吹扫供气气路；所述主气路与备气路并联；所述抽真空气路连接主气路；所述吹扫供气气路与主气路和备气路相连；所述主气路包括主气路钢瓶、主气路管道；所述主气路管道通过主气路钢瓶的接口与主气路钢瓶连接；在所述主气路管道上顺次设有主气路第一气动开关AV2L、主气路减压阀PRV1L、主气路第二气动开关AV3L；所述备气路包括备气路钢瓶、备气路管道；所述备气路管道通过备气路钢瓶的接口与备气路钢瓶连接；在所述备气路管道上顺次设有备气路第一气动开关AV2R、备气路减压阀PRV1R、备气路第二气动开关AV3R；在所述主气路钢瓶的接口处设有主气路第一压力检测点PT1L；在所述主气路减压阀PRV1L与主气路第二气动开关AV3L之间设有主气路第二压力检测点PT2L；在所述备气路钢瓶的接口处设有备气路第一压力检测点PT1R，在所述备气路减压阀PRV1R与备气路第二气动开关AV3R之间设有备气路第二压力检测点PT2R；

其特征在于，该检测方法包括以下步骤：

a.检测主气路第一压力检测点PT1L的压力值是否大于设定值，如果大于，则进入步骤b，否则,进入步骤d；

b.关闭备气路第一气动开关AV2R、备气路第二气动开关AV3R，开启主气路第一气动开关AV2L、主气路第二气动开关AV3L，进入步骤c；

c.检测主气路第二压力检测点PT2L的压力值是否大于设定值，如果大于，则返回步骤a，否则，判定当前需要更换备气路钢瓶，返回步骤a；

d.检测主气路第二压力检测点PT2L的压力值是否大于设定值，如果大于，则进入步骤e，否则，判定当前需要更换备气路钢瓶，返回步骤a；

e.关闭主气路第一气动开关AV2L、主气路第二气动开关AV3L，开启备气路第一气动开关AV2R、备气路第二气动开关AV3R，进入步骤f。

该方案可以实现快速、准确检测钢瓶的压力是否足够供气，在主气路钢瓶压力不足时，切换至备气路钢瓶供气，保证生产需要的特气供应。

进一步，出于安全性考虑，在步骤a之前，还包括步骤:

a0.检测特气柜中有无泄漏、高温情况，如果有，则关闭所有气动开关，进行检查、维修，如果没有，则进入步骤a。