[发明专利]物理量传感器及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器及具备物理量传感器的电子设备。

背景技术

一直以来，作为物理量传感器，已知一种半导体力学量传感器（以下，称为物理量传感器），其具备：底板部，其通过形成于半导体基板上的、在横向上延伸的空洞而被划分，并位于该空洞的下方；框部，其通过空洞及形成于半导体基板上的、在纵向上延伸的槽而被划分，并位于空洞及槽的旁边；梁结构体，其通过空洞及槽而被划分，并位于空洞的上方，且从框部起延伸，并且具有通过力学量（例如，加速度）而位移的可动电极；固定电极，其通过空洞及槽而被划分，并位于空洞的上方，且从框部起延伸，并且与梁结构体的可动电极对置配置（例如，参照专利文献1）。

根据专利文献1，上述物理量传感器为电容变化检测型，且采用了如下的结构，即，来自第一固定电极的配线（以下，称为第一配线）及来自第二固定电极的配线（以下，称为第二配线）被设置在半导体基板的一个面上，且能够将第一固定电极及第二固定电极的电位取出至外部。

由于上述物理量传感器为了实现小型化而需要将第一配线和第二配线相互接近设置，因此存在第一配线与第二配线之间的寄生电容（散杂电容）增大的可能性。

由此，由于在上述物理量传感器中，增大了的上述寄生电容被附加于检测出的本来的静电电容，因此存在作为电容变化检测型的物理量传感器的、检测精度等的检测特性劣化的可能性。

其结果为，上述物理量传感器有可能对物理量检测中的可靠性造成损害。特别是，当为差动检测方式的物理量传感器时，减少固定电极的配线与可动电极的配线之间的寄生电容成为了课题。

专利文献1：日本特开2000-286430号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而被完成的，并能够作为以下的方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具备：基板；可动部，其被支承在所述基板上；可动电极部，其被设置在所述可动部上；固定电极部，其被设置在所述基板的主面上，且与所述可动电极部对置配置，所述固定电极部与被设置在所述基板的所述主面上的固定电极用配线相连接，所述可动电极部与被设置在所述基板的所述主面上的可动电极用配线相连接，在所述固定电极用配线与所述可动电极用配线之间的至少一部分上，设置有第一屏蔽部。

据此，在物理量传感器中，固定电极部与固定电极用配线相连接，可动电极部通过可动部而与可动电极用配线相连接，并且在固定电极用配线与可动电极用配线之间的至少一部上，设置有屏蔽部。

由此，由于在物理量传感器中，物理量检测时的固定电极用配线与可动电极用配线之间的寄生电容通过屏蔽部而被降低，因此能够减少检测出的静电电容值与本来的静电电容值之间的误差。

因此，物理量传感器能够提高检测精度等的检测特性。

其结果为，物理量传感器能够提高物理量检测的可靠性。

应用例2

在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述固定电极部具有被配置在所述可动电极部的一侧的第一固定电极部、和被配置在另一侧的第二固定电极部，所述固定电极用配线包括与所述第一固定电极部相连接的第一配线、和与所述第二固定电极部相连接的第二配线，在所述第一配线及所述第二配线之间的至少一部分上，设置有第二屏蔽部。

据此，由于在物理量传感器中，在固定电极用配线的第一配线与第二配线之间的至少一部分上设置有屏蔽部，因此物理量检测时的第一配线及第二配线之间的寄生电容通过屏蔽部而被降低。由此，物理量传感器例如能够进一步减少检测出的静电电容值与本来的静电电容值之间的误差。

因此，物理量传感器能够进一步提高检测精度等的检测特性。其结果为，物理量传感器能够进一步提高物理量检测的可靠性。

应用例3

在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述基板使用绝缘材料，而所述可动部、所述可动电极部及所述固定电极部使用半导体材料。

据此，由于物理量传感器中，基板使用绝缘材料，可动部、可动电极部及固定电极部使用半导体材料，因此能够切实地实施基板与可动部、可动电极部及固定电极部之间的绝缘分离。

应用例4

在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述第一屏蔽部使用与所述可动部、所述可动电极部及所述固定电极部相同的材料。

据此，由于物理量传感器中，屏蔽部使用与可动部、可动电极部及固定电极部相同的材料，因此能够使用例如光刻技术或蚀刻技术，由一张板材一次性地形成屏蔽部与可动部、可动电极部及固定电极部。