[发明专利]旋转中心测定装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体自动化设备领域，尤其涉及一种利用角加速度传感器测定旋转中心的装置及方法。 

背景技术

在半导体制造技术领域中，经常需要测定目标（一般为硅片）的旋转中心，例如光阻涂布机涂布或显影等过程中，需要确定旋转中心以及放置于设备上的目标的实际中心之间的偏差，用以精确定位目标的位置，对所述的偏差进行补偿，进而精确的完成涂布、显影等工作。 

目前，测定或调整旋转中心的方法有两种： 

1.CCD（电荷耦合元件，英文全称：Charge-coupled Device）成像对准方式测定调整方法，如图1所示，其结构包括旋转台10、CCD镜头11、中心刻线制具12以及传送手臂13，直接利用CCD镜头11分别抓取所述中心刻线制具12旋转0°和180°的位置，并与所述旋转台10的中心，即旋转中心进行比较，将偏差值传送至调试系统，最终利用传送手臂对目标的位置进行调整，这种方法需要将CCD镜头以及调试系统连接，补正参数，通常适用于装机； 

2.EBR宽度偏差方式测定调整方法，如图2所示，间接利用洗边宽度EBR（电子束录像机）上下左右四个位置测定的偏差，图中实线和虚线十字中心分别为实际中心和旋转中心，利用如下公式计算，补正参数， 

d_x＝|c-a| 

          ， 

d_y＝|d-b| 

但这种方法需要晶圆涂胶，不能重复利用，且精度较差，通常适用于保养。 

因此，如何提供一种既能简化旋转中心测定过程又能够提升制具重复利用效率的旋转中心测定装置及方法是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种旋转中心测定装置及方法，以简化旋转中心测定过程，提升制具重复利用效率。 

为解决上述技术问题，本发明提供了一种旋转中心测定装置，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于所述旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统连接所述角加速度传感器，为所述角加速度传感器供电，所述控制系统通过所述数据传输系统与所述角加速度传感器连接，所述角加速度传感器测得的一组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。 

较佳地，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别嵌入式设于所述主体上。 

较佳地，所述角加速度传感器分别设于所述主体的两条相互垂直的十字中心线上。 

较佳地，所述电源系统包括电源以及电源线，所述电源通过电源线为所述角加速度传感器供电。 

较佳地，所述电源为锂电池。 

较佳地，所述数据传输系统包括存储器、蓝牙设备以及数据线，所述数据线连接 所述存储器和所述角加速度传感器，所述蓝牙设备将所述存储器中的所述角加速度传感器测得的数据传送至所述控制系统。 

较佳地，所述主体采用能够被真空吸附的材料。 

较佳地，所述主体的边缘设有一凹槽。 

本发明还提供了一种旋转中心测定方法，采用如上所述的旋转中心测定装置，其特征在于，所述旋转台以角速度ω₀旋转，所述至少两个角加速度传感器测得一组角加速度值a，根据所述角速度ω₀、一组角加速度值a以及各角加速度传感器所处的位置，计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的的偏差。 

较佳地，根据所述旋转台角速度ω₀以及所述角加速度值a，利用公式：ω₀·r²＝a，计算出各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r；再根据已经求得的各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r以及各角加速度传感器所处的位置利用勾股定理得到所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差。