[发明专利]一种微悬臂梁传感器的共振激发方法

权利要求书

1.一种微悬臂梁传感器，其特征在于，该微悬臂梁传感器是一种电容式微悬臂梁传感器，包括一个n型掺杂硅材料的微悬臂梁底座和一个与微悬臂梁底座平行放置的金属电极；微悬臂梁底座的一端设有与微悬臂梁底座一体的、同材料的无针尖探针，微悬臂梁底座和金属电极上分别设有脉冲电信号接入引线和直流偏压接入引线。

2.如权利要求1所述的一种微悬臂梁传感器，其特征在于，所述微悬臂梁的无针尖探针的尺寸是长度在100-300微米，宽度在20-40微米，厚度在1-2微米。

3.如权利要求1所述的一种微悬臂梁传感器，其特征在于，所述微悬臂梁底座和金属电极之间的距离在100-1000微米。

4.一种微悬臂梁传感器的共振激发方法，其特征在于，微悬臂梁传感器的共振激发方法如下：

由信号发生器通过金属电极上的导线向金属电极提供幅值为5-10伏的直流电压信号，同时由信号发生器通过微悬臂梁底座上的导线向微悬臂梁无针尖探针提供幅值为5-10伏、偏压为0伏的脉冲电信号，该脉冲电信号的频率是微悬臂梁探针共振频率的分数倍，从1/3倍到1/10倍；脉冲电信号的频率是微悬臂梁探针共振频率的分数倍时，脉冲电信号的高阶傅利叶谐波包含频率与悬臂梁探针共振频率相同的成分，此成分配合施加在金属电极上的直流偏压，形成探针和金属电极之间的电位差，进而形成作用于微悬臂梁探针上的电场力，此电场力驱动微悬臂梁探针在其共振频率上振动。