[发明专利]防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源

说明书

技术领域

本发明涉及用于将防着板安装在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器内部的防着板支承部件以及具有该防着板支承部件的离子源。

背景技术

在被称为等离子体CVD装置或PLAD的等离子体掺杂装置等等离子体处理装置、离子注入装置及离子束定向装置等离子束照射装置中，为了防止等离子体生成容器内壁受到腐蚀及高效地进行等离子体生成容器内的清洗，沿着等离子体生成容器内壁设置有如专利文献1的图3所示的、可装拆的衬里(也称为衬板、防着板)。

专利文献1：日本专利公开公报特开平5-182623号(图3)

根据装置的运行情况，需要对防着板进行更换。例如，在使装置运行一定程度的期间之后，防着板上会附着堆积物。此外，由于等离子体生成容器内的热量，有时会使防着板产生热变形。如果任由这种状态而不管，会给装置的运行带来障碍，所以例如要定期地对防着板进行更换。

防着板通常用螺栓固定在等离子体生成容器的内壁上。因此，在将防着板安装在等离子体生成容器的内壁上、或者将防着板从等离子体生成容器的内壁上拆下时，必须将固定防着板的螺栓全部安装上或者将固定防着板的螺栓全部拆下，这样的操作需要较长的时间。而且，如果定期进行这样的操作，则会使装置的维护的时间变长，会影响装置的运行率。

近年来，被处理对象物的尺寸在逐年增大。例如，对于离子束照射装置而言，在被处理对象为玻璃基板(衬底)的情况下，其大小会达到约2200mm×2600mm。伴随着这样的基板大型化，等离子体生成容器的尺寸也变大了。

在使用这样大型的等离子体生成容器时，防着板的尺寸对应的也变大。因此，在安装大尺寸的防着板时，需要更多的螺栓，防着板的安装与拆下操作所需要的时间也会变得更长。而且，需要很多劳动力来进行安装及拆下防着板的操作。

发明内容

本发明的主要目的在于提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能够提高将防着板安装在等离子体生成容器上或将防着板从等离子体生成容器拆下的工作效率。

本发明提供一种防着板支承部件，配置在等离子体生成容器内，所述等离子体生成容器在等离子体处理装置及离子束照射装置中使用，所述防着板支承部件的特征在于，具有：主体部，至少一部分与所述等离子体生成容器的内壁抵接；以及端部，从所述主体部延伸设置，并且在将所述防着板支承部件组装在所述等离子体生成容器上时，所述端部从所述等离子体生成容器的内壁离开。

使用所述的防着板支承部件，能够提高将防着板安装在等离子体生成容器上及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。

此外，为了进一步提高工作效率，优选的是，所述端部沿着安装所述防着板支承部件的所述等离子体生成容器的内壁延伸设置。

这样，防着板的安装与拆下能够顺利地进行。

此外，所述防着板支承部件由非磁性体和磁性体构成。

此外，本发明还提供一种离子源，在等离子体生成容器内生成等离子体，从该等离子体产生离子束，并使所述离子束向规定的方向行进，在所述等离子体生成容器内配置有多个如上所述的防着板支承部件，在与所述离子束的行进方向大体垂直的平面上，所述防着板支承部件的端部沿着所述等离子体生成容器的内壁相互相对配置，并且在相对配置的所述防着板支承部件的端部之间配置有防着板。

此外，本发明还提供一种离子源，在周围配置有多个永磁体的等离子体生成容器内生成等离子体，从该等离子体产生离子束，并使所述离子束向规定的方向行进，在所述等离子体生成容器内配置有多个如上所述的防着板支承部件，在与所述离子束的行进方向大体垂直的平面上，所述防着板支承部件的端部沿着所述等离子体生成容器的内壁相互相对配置，在相对配置的所述防着板支承部件的端部之间配置有防着板，并且构成所述防着板支承部件的磁性体的至少一部分隔着所述等离子体生成容器的壁面与配置在所述等离子体生成容器周围的所述永磁体相对配置。

通过在等离子体生成容器内配置防着板支承部件，并以使防着板相对于防着板支承部件滑动的方式来安装或拆下防着板，因此能够缩短对防着板进行定位所需要的时间。此外，由于防着板的端部由防着板支承部件支承，所以能够减少固定防着板本身的螺栓的数量。此外，由于用于固定防着板本身的螺栓的数量减少，所以能够缩短安装或拆下防着板时所需要的时间。

附图说明

图1是表示本发明的离子源的一个实施方式的剖视图。

图2是沿着图1所示的A-A线在X方向上切断等离子体生成容器时的剖视图。

图3是表示防着板支承部件的立体图。