[发明专利]一种灯具保持架装置

说明书

技术领域

本申请涉及一种保持架装置，尤其是一种用于半导体领域灯具的保持架装置。

 

背景技术

在半导体设备当中，需要用汞灯发光对晶圆上的光阻实施曝光照射，以形成电路图案。通常的汞灯需要在一定周期内使用，寿命通常为几个月，到寿命之后需要将设备中的旧灯取出，安装新灯。这个过程往往需要手工完成，由于灯具的重量较沉，而且刚取下的灯具温度很高，新的灯具表面洁净度要求很高，因此，无论是旧灯还是新灯，都不能碰到其灯体，即灯具中间的弧形部分（参照图1）。

现有技术在装卸灯具的时候，采用手工取出灯具后，往往需要两人同时在场，一人拿住新灯的上端，另一人负责将旧灯取下，并将旧灯装回包装盒，这样，在安装的过程中碰到灯体弧形部分的概率大增，而且需要两名工人在场。

 

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种能够有效将灯具保持的灯具保持架装置。

该灯具保持架装置包括底板、活动板、顶板、右立柱、左立柱、左弹性部件、右弹性部件、两个紧固螺母以及两个弹性垫圈，其中，左右立柱为圆柱形，沿轴向垂直向上延伸，分为底段、中段以及上段；其中，中段的径向尺寸比底段径向尺寸小，上段的径向尺寸比中段的径向尺寸小，在底段与中段之间具有第一台肩，在第一台肩处具有弹性垫圈，在中段与上段之间具有第二台肩，在底段的底端具有底端螺纹，底板上具有两个螺孔，底板上的两个螺孔分别与左右立柱底段的底端螺纹配合；活动板上具有两个通孔，分别与左右立柱的中段滑动配合，于活动板之上在左右立柱的中段分别套有左弹性部件以及右弹性部件，顶板具有两个通孔，左右立柱的上段分别穿过两个通孔，左右立柱的上段具有顶端螺纹，两个螺母分别与左右立柱上段的顶端螺纹配合，将顶板紧固在左右立柱的第二台肩上，左右弹性部件位于顶板与活动板之间；底板以及活动板的中间分别具有下凹坑以及上凹坑，上下凹坑的形状分别与灯具两端的形状适配。 

使用时，先用一只手捏住顶板以及活动板，活动板在手捏力的作用下向上运动，另一只手拿住灯具的上端，将灯具下端先放入底板上的下凹坑内，然后将灯具扶正，并缓慢将活动板松开，直至活动板上的上凹坑与灯具的上端配合，在左右弹性部件的作用下，灯具被夹持在活动板以及底板之间。

通过上述保持架装置，在换灯的时候只需一人即可完成，而且灯具的保持牢固可靠，减少了对灯体的污染以及碎灯等意外情况的发生。降低了生产运营成本。

附图说明

图1是本发明所涉及的灯具外观示意图。

图2是本发明的灯具保持架在没有装灯具时候的剖视图。

图3是本发明的灯保持架在安装有灯具时候的剖视图。

具体实施方式

该灯具保持架装置包括底板1、活动板4、顶板5、右立柱2、左立柱3、左弹性部件6、右弹性部件7、两个紧固螺母以及两个弹性垫圈8，其中，左右立柱2、3为圆柱形，沿轴向垂直向上延伸，分为底段、中段以及上段；其中，中段的径向尺寸比底段径向尺寸小，上段的径向尺寸比中段的径向尺寸小，在底段与中段之间具有第一台肩，在第一台肩处具有弹性垫圈，在中段与上段之间具有第二台肩，在底段的底端具有底端螺纹，底板1上具有两个螺孔，底板1上的两个螺孔分别与左右立柱2、3底段的底端螺纹配合；活动板4上具有两个通孔，分别与左右立柱2、3的中段滑动配合，于活动板4之上在左右立柱2、3的中段分别套有左弹性部件6以及右弹性部件7，顶板5具有两个通孔，左右立柱2、3的上段分别穿过两个通孔，左右立柱2、3的上段具有顶端螺纹，两个螺母分别与左右立柱上段的顶端螺纹配合，将顶板5紧固在左右立柱2、3的第二台肩上，左右弹性部件6、7位于顶板5与活动板4之间；底板1以及活动板4的中间分别具有下凹坑以及上凹坑，上下凹坑的形状分别与灯具两端的形状适配。 

使用时，先用一只手捏住顶板5以及活动板4，活动板4在手捏力的作用下向上运动，另一只手拿住灯具的上端，将灯具下端先放入底板1上的下凹坑内，然后将灯具扶正，并缓慢将活动板4松开，直至活动板4上的上凹坑与灯具的上端配合，在左右弹性部件6、7的作用下，灯具被夹持在活动板4以及底板1之间。

通过以上方式，本领域的技术人员可以在本发明的范围内根据工作模式做出各种改变。