[发明专利]一种微混合和微反应装置

权利要求书

1.一种微混合和微反应装置，用于实现溶液的快速微混合和微反应，其包括：

微流控芯片，由刻有微通道的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄层与玻璃片键合而成；和

芯片夹，用于夹持所述微流控芯片；

其特征在于，所述微通道包括两条溶液入口通道和一条溶液出口通道，每条通道由一宽通道和一窄通道贯通连接形成，且三个窄通道均与一混合腔(4)贯通连接，从而使三条通道相互连通。

2.根据权利要求1所述的微混合和微反应装置，其特征在于，两溶液入口通道中心轴线呈小于180度夹角，所述溶液出口通道中心轴线位于该夹角角平分线上，所述两溶液入口通道关于该溶液出口通道轴对称。

3.根据权利要求1或2所述的微混合和微反应装置，其特征在于，宽通道的宽度大于窄通道的宽度。

4.根据权利要求1-3之一所述的微混合和微反应装置，其特征在于，所述混合腔(4)外壁面与入口通道外壁面连接处相切。

5.根据权利要求1-4之一所述的微混合和微反应装置，其特征在于，所述三条通道的分别与储液池连通。

6.根据权利要求1-5之一所述的微混合和微反应装置，其特征在于，所述芯片夹包括盖片与底片，所述微流控芯片置于所述盖片和底片之间，通过将盖片和底片连接锁紧实现对所述微流控芯片的夹紧。

7.根据权利要求6所述的微混合和微反应装置，其特征在于，所述盖片上设置有小孔，分别与所述微流控芯片的入口储液池和出口储液池相通。

8.一种微流控芯片的制作工艺，具体包括如下步骤：

(1)制作具有权利要求1-7之一所述的微通道结构的芯片掩模；

(2)基片清洗并作匀胶处理；

(3)利用紫外光光刻进行完全曝光，将掩模上的图形转移到匀胶后的基片上；

(4)对匀胶后的基片进行前烘和后烘；

(5)对后烘后的基片进行显影和定影；

(6)将定影后的基片置于真空烘箱中进行坚膜；

(7)首先将PDMS低聚体和固化剂按比例搅拌混匀，倒在基片上进行烘烤，固化PDMS；

(8)将固化后的PDMS和玻璃盖片平进行键合处理，即可得到具有微通道的微流控芯片。

9.一种微混合和微反应装置，包括利用权利要求8所述的制备工艺制备的微流控芯片。