[发明专利]用于扫描显微成像样本的方法和装置

权利要求书

1.一种用于扫描显微成像样本(28)的方法，包括下述步骤：

在相继的扫描时间间隔中通过扫描光束(14)扫描多个样本点，

在相关扫描时间间隔内，反复感测相应扫描样本点发射的辐射强度，

依据相应扫描样本点上感测的强度，确定出强度平均值，作为平均值图像点信号，并且

将该平均值图像点信号组合成平均值光栅图像信号，

其中，依据相应扫描样本点上感测的强度，另外确定出强度方差值，作为方差图像点信号，并且

将该方差图像点信号组合成方差光栅图像信号。

2.根据权利要求1的方法，其中基于相应平均值图像点信号和相关方差图像点信号，生成评价图像点信号，并将生成的评价图像点信号组合成评价光栅图像信号。

3.根据权利要求1或2的方法，其中在相继的子间隔中n次数字化每一扫描时间间隔内发射的辐射强度，以感测出n个强度值，n为大于1的整数，且每一子间隔等于扫描时间间隔的1/n。

4.根据权利要求3的方法，其中通过如下方式感测该n个强度值：在相应扫描时间间隔内，通过模数转换器n次将相应于发射的辐射的模拟信号转换成表示相应强度值的数字信号，每种情况下都以一等于子间隔的预定转换时间进行转换。

5.根据权利要求3的方法，其中通过如下方式感测该n个强度值：在相应扫描时间间隔内，通过光子计数器n次确定出相应于发射的辐射的光子数量，每种情况下都以一等于子间隔的预定转换时间进行确定。

6.根据前述权利要求之一的方法，其中根据下述公式(1)确定相应强度平均值

x‾=1nΣi=1nxi---(1)]]>

根据下述公式(2)确定相应强度方差值V：

V=1n-1Σi=1n(xi-x‾)2---(2)]]>

其中，优选地，根据公式(3)确定变量

Σi=1n(xi-x‾)2=Σi=1nxi2-nx‾2---(3)]]>

或根据下述公式(3’)：

Σi=1n(xi-x‾)2=Σi=1nxi2-1n(Σi=1nxi)2---(3,)]]>

其中x_i表示在相应扫描时间间隔内感测的强度，n表示大于1的整数，其指示了在相应扫描时间间隔内感测的强度x_i的数量。