[发明专利]气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台及其使用方法

权利要求书

1.一种气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台，其特征在于：该气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台包含一个精密比测平台单元、一个气浮载具，及一个供气系统，该精密比测平台单元包括一个用于提供平坦表面的精密平台、一个设置于该精密平台上方的气压缸，及一个设置于该精密平台上方且连接于该气压缸的千分表，该气浮载具放置于该精密平台上，该供气系统连接该气浮载具与该精密比测平台单元的气压缸。

2.根据权利要求1所述的气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台，其特征在于：该供气系统包括一个用于提供气源的空气压缩机、一个连接该空气压缩机的调压阀，及多个分别连接于该气浮载具、气压缸与调压阀间的流量控制阀。

3.一种气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台的使用方法，其特征在于包含以下步骤：

(A)准备一个如权利要求1所述的气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台；

(B)将该千分表抵于一待测物表面，进行该千分表归零；

(C)启动该供气系统使该待测物浮起，读取该千分表数值，得知气膜厚度；

(D)启动该气压缸以向下施压力于该待测物，向下施压力至待测物不浮起，读取该气压缸数值，得知气膜的承载力。

4.根据权利要求3所述的气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台的使用方法，其特征在于：该步骤(A)中，该供气系统包括一个用于提供气源的空气压缩机、一个连接该空气压缩机的调压阀，及多个分别连接于该气浮载具、气压缸与调压阀间的流量控制阀，该步骤(C)中，开启位于该调压阀与该气浮载具间的流量控制阀，该步骤(D)中，开启位于该调压阀与该气压缸间的流量控制阀。

5.根据权利要求3所述的气浮式平面轴承的气膜刚性检测平台的使用方法，其特征在于：该步骤(B)中，待测物为气浮载具。