[发明专利]基板检查系统

权利要求书

1.一种基板检查系统，具有管理系统和多种检查机，所述多种检查机设在部件安装基板的安装作业线上，所述管理系统用于管理各检查机的动作，其特征在于，

所述管理系统具有：

部件种类信息存储单元，其保存部件种类信息，所述部件种类信息是指，针对每个部件种类归纳了应对各部件种类的部件实施的检查项目的信息，

检查单元存储单元，其针对每个检查项目保存用作实施该检查项目的检查的检查单元的检查机或检查机的组合，

部件确定单元，其针对每个部件确定安装在检查对象基板上的部件的位置以及部件种类，

按部件执行处理单元，其针对每个由所述部件确定单元确定的部件，执行第一处理和第二处理，其中，所述第一处理是指，针对该部件的部件种类，利用保存在部件种类信息存储单元中的部件种类信息，来识别应对该部件实施的检查项目的处理，所述第二处理是指，针对所识别的检查项目，利用保存在检查单元存储单元中的信息，来选择用于对该检查项目实施检查的检查单元的处理，

菜单生成单元，其基于所述部件确定单元及按部件执行处理单元的处理结果，生成检查菜单信息，所述检查菜单信息是指，针对安装在所述基板上的每个部件，将表示对该部件实施的检查项目和用作实施该检查的检查单元的检查机的信息，与该部件的部件种类以及位置信息建立了关联的信息；

各检查机具有：

检查菜单输入单元，其输入由所述管理系统生成的检查菜单信息，

检查程序存储单元，其针对每个部件种类保存与自身装置能够实施的检查项目相关的检查程序，

检查对象识别单元，其通过分析由所述检查菜单输入单元输入的检查菜单信息，来识别在自身装置的检查对象部件，并从检查菜单信息中提取检查对象部件的位置、部件种类以及对该部件实施的检查项目，

检查信息生成单元，其利用所述检查对象识别单元所提取的信息，来针对每个检查对象部件执行第三处理和第四处理，由此生成对检查对象基板的检查所需要的检查信息，所述第三处理是指，针对对该部件实施的检查项目，从检查程序存储单元读取与该部件的部件种类适合的检查程序的处理，所述第四处理是指，将所读取的检查程序与该部件的位置信息建立关联的处理，

检查执行单元，其利用由所述检查信息生成单元生成的检查信息来执行检查。

2.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元和显示单元，所述操作单元用于进行选择检查机的操作，所述显示单元用于显示信息；

在所述检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息；

所述按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，将表示这些检查单元的选项与各自的检查能力信息一起显示在所述显示单元上，并且，响应于在该显示状态下在所述操作单元所进行的选择检查单元的操作，来选择由该操作选择的检查单元。

3.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元，该操作单元用于输入在生产作业线上实施的检查的目标；

在所述检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息；

所述按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，选择具有与由所述操作单元输入的目标适合的检查能力的检查单元或检查单元的组合。

4.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元，该操作单元用于进行变更所述按部件执行处理单元的对处理对象部件的检查基准的操作；

所述按部件执行处理单元，在选择了用于实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元之后，在所述操作单元进行了变更有关该检查项目的检查基准的操作时，将变更后的所述检查基准应用于处理对象部件；

所述菜单生成单元针对应用了变更后的所述检查基准的部件，生成示出该检查基准的检查菜单信息；

在各检查机中，在所述识别单元对所述检查菜单信息的分析处理中，判别变更后的检查基准是否适用于设定为在自身装置中进行检查的部件，并且，在检查信息生成单元对检查信息的生成处理中，对应用了变更后的所述检查基准的部件，读取与变更后的该检查基准相对应的检查程序。

5.根据权利要求4记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有设计信息输入单元和显示单元，所述设计信息输入单元用于输入检查对象基板的设计信息，所述显示单元用于显示信息；

所述按部件执行处理单元，通过对所述设计信息输入单元所输入的设计信息中的有关处理对象部件及其周围的构成物的信息进行分析，判别对处理对象部件的检查造成影响的事项，并将判别结果显示在所述显示单元上，在该显示状态下接受变更所述检查基准的操作。