[实用新型]阀门更换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械、半导体和化学领域，尤其涉及阀门更换装置。

背景技术

在集成电路制造过程中，需使用各种管路输送化学品，由于安全需要，所述化学品通常需密闭传输，传输化学品的管路通常用阀门连接。在长期使用后，由于化学品的腐蚀、堵塞或老化等原因，阀门可能发生故障而需要更换。在更换阀门前，一般需要将阀门连接的管路内的压强降低至管路外的压力，即进行卸压，否则在拆卸阀门时可能会有管路内的残余化学品溶液进出，造成事故。

目前在卸压时，通常先吹扫管路，然后使用洁净布包裹阀门接头，缓慢拆卸，这样存在很大风险，尤其是当上游阀门不能打开而且管路模糊不清时(尤其是HCL和HNO3管路)，很容易导致溶液进出造成事故。

实用新型内容

本实用新型提供了阀门更换装置，发明目的在于避免现有方案在更换阀门时容易有残液残压从阀门连接的管路进出而导致安全事故的问题，提高了阀门更换的安全性。

管路密闭结构，设置有内部空间，所述内部空间足够容纳阀门和该阀门连接的管路端口，且能够打开和密闭；

排放装置，连至管路密闭结构，并与内部空间连通，且设置有排放口及连接至排放口的排放控制开关，所述排放控制开关控制排放口排放和不排放。

可选的，所述管路密闭结构内壁设置有阀门固定夹，能够将阀门固定在管路密闭结构上，以断开阀门与管路的连接。

可选的，所述管路密闭结构内壁还设置有管路固定夹，能够将管路固定在管路密闭结构上，以断开阀门与管路的连接。

可选的，所述管路密闭结构由连通的多节筒状体构成，沿管路与阀门的连接方向，各筒状体能相对伸缩，以断开阀门和管路的连接。

本实用新型提供的阀门更换装置中的管路密闭结构内设置有能够容纳阀门及其连接的管路端口的内部空间，且该内部空间能够打开和密闭，从而能够将所述阀门及管路端口密闭在该内部空间，在断开阀门及管路端口时残余物只能溅出在该内部空间，此外所述阀门更换装置中的排放装置连通至内部空间，并有排放口及排放控制开关，因此残余物溅至内部空间后，能够通过排放控制开关控制将残余物从排放口排放出去，从而避免了现有技术中残余物进出导致安全事故等问题，提高了阀门更换的安全性。

附图说明

图1为本实用新型实施例中阀门更换装置的结构示意图；

图2～图3为本实施例更换阀门前后的管路和阀门更换装置的结构示意图。

具体实施方式

针对背景技术提及的问题，本发明人提出，如果在更换阀门时能够将阀门及其连接的管路端口密闭，然后断开阀门端口，将残液残压等排放后，最后将阀门更换，则就提高了阀门更换的安全性。针对该设计思路，本实用新型实施例提供了阀门更换装置，包括：

管路密闭结构，设置有内部空间，所述内部空间足够容纳阀门和该阀门连接的管路端口，且能够打开和密闭，可以在更换阀门时将阀门和阀门连接的管路端口密闭；以及

排放装置，连至管路密闭结构，并与内部空间连通，且设置有排放口及连接至排放口的排放控制开关，所述排放控制开关控制排放口排放和不排放，可以在断开阀门后，排放在断开阀门后从管路端口流入内部空间的残余物，并降低内部空间压强。

图1为本实用新型实施例中阀门更换装置的结构示意图，该图所示仅为本实用新型提供的方案中较佳的一种实施方式，不能理解为对本实用新型的限定。

图1所示装置包括：三节筒状体连通构成的管路密闭结构10，这三节筒状体可伸缩。在管路密闭结构10上方设置有封闭挡板11，该挡板11上设置有孔，能够将管路套于孔内，在使用时，该孔由O型圈(O-ring)密封。管路封闭结构10内壁设置有阀门固定夹12及管路端口固定夹14，分别用于将阀门和管路端口固定在管路封闭结构10的不同筒状体上。筒状体的连接端13能够实现筒状体沿管路方向移动，以断开阀门与管路端口的连接。

图2～图3为本实施例更换阀门前后的管路和阀门更换装置的结构示意图，当需要更换阀门时，首先吹扫管路，然后将阀门更换装置套于管路上，封闭管路端口及阀门，并将阀门及管路端口固定，如图2。

然后松开阀门上下接头螺母关闭密封，将卸流管插入废液排放管，打开卸流阀，然后双向拉伸卸压器便将阀门拆卸下来，同时管路内的残液与残压通过卸流孔排放除去，如图3。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。