[发明专利]用于清洁柔性幅材的设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及超净表面的制备，更具体地讲，本发明涉及清洁柔性幅材的方法。

背景技术

已知在现代工业的一些生产流程中，如在用于微处理器的硅晶片制造中，碎屑的最微小粒子都可能是有害的。某些从这类硬表面上移除均匀的超细粒子的技术是已知的。然而，近来随着越来越多的工业动态向着更轻、更薄的光学设备和电子设备两者发展，对超净材料的需求已扩展到使用材料幅材的大容量滚筒式产品。虽然硬质材料(如不锈钢)的幅材已出现在这一扩大的市场上，但考虑到聚合物材料的柔性和光学透明性，更经常地需要聚合物材料。与微小碎屑可损坏硅晶片相同，微小碎屑在幅材的滚筒式加工中可能是重要的问题，微小碎屑的存在会引起额外的麻烦，需要对其区域进行多次清洁，并且通常在软得多的表面的情况下。尽管如此，从表面上清除小粒子可使硬质且不透明材料的幅材受益。

发明内容

本发明提供在无需使用浸渍浴或超声能量的条件下材料幅材的清洁方法，特别是清洁相对柔软的聚合物幅材的清洁方法。在一个方面，该方法包括：用垫辊支承幅材；用高压液体喷射幅材的第一表面，而幅材的相对的第二表面接触垫辊；在喷射之后将气帘导向第一表面，而相对的第二表面由垫辊支承。许多流体被认为是适用于喷射，但取决于待清洁的幅材类型，超纯水、去离子水、包含表面活性试剂的水、有机溶剂、和比重高的流体被认为是特别便利的。对本发明使用的流体进行预过滤被认为是特别便利的。

在另一个实施例中，材料幅材接触清洁辊，而幅材接触垫辊。发现具有多孔多瘤表面的清洁辊是可用的，并且该清洁辊可以由聚乙烯醇(PVA)或其变体便利地进行制备。多瘤辊可具有圆柱形的突起或其它图案的突起。通常，当清洁辊以幅材移动方向相反的方向抵靠幅材刮擦时，穿过微孔径向输送的流体从内部输入清洁辊。受到幅材以及垫辊的挤压，多瘤辊通常沿径向被压缩0.5mm至约2.5mm。该方法可以可选地包括在幅材材料接触清洁辊之前，将幅材材料润湿。该方法可以可选地包括，在通过该多瘤辊的流体流动中、或作为在辊的旋转表面上方的滴落浓缩液，使用湿润剂或表面活性剂。

在另一个实施例中，当材料幅材保持在粒子受控的气氛的洁净室进行幅材清洁时，进行本方法的一部分或全部是可用的。可将材料幅材设置在洁净室中，该洁净室达到Federal Standard 209“Airborne Particulate Cleanliness Classes in Cleanrooms and Clean Zones”(联邦标准209“洁净室和洁净区域的空气传播微粒清洁度级别”)的限度。具体地讲，该洁净室能够达到联邦标准209下的10,000级别、或1,000级别、或100级别、或10级别的要求。

在另一方面，用于清洁材料幅材的设备包括：垫辊，其被设置成将幅材至少部分地包裹在垫辊周围；高压液体源，其被连接到至少一个喷嘴，用于在垫辊支承幅材时喷射所述幅材；和气源，其被连接到位于至少一个喷嘴之后的出气帘，气帘被取向成在垫辊支承幅材时，与幅材移动方向相交，并且被设置用于将液体从幅材移除。

附图说明

本领域的普通技术人员应当了解，本讨论仅是针对示例性实施例的描述，其并不旨在限制本发明的更广泛的方面，其中更广泛的方面体现在示例性构造中。

图1示出根据本发明的幅材清洁设备的侧视图。

图2示出根据本发明的幅材清洁设备的另一个实施例的侧视图。

图3示出根据本发明的幅材清洁设备的另一个实施例的侧视图。

图4示出幅材清洁流水线的侧视图。

说明书及附图(未按比例绘制)中参考字符的反复使用旨在表示本发明的相同或类似的特征或元件。

定义

如本文所用，词语形式“包含”、“具有”和“包括”在法律上等同且具开放式含义。因此，除了列举的元件、功能、步骤或限制之外，还可以有其他未列举的元件、功能、步骤或限制。

如本文所用，“高压”被定义为约500psi(3.45兆帕)至约3000psi(20.68兆帕)，其中约1000psi(6.89兆帕)至约2500psi(17.24兆帕)被认为是特别便利的高压。

具体实施方式