[发明专利]一种辉光设备可调节辉光监控系统

权利要求书

1.一种辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：包括用于监测辉光强度 的光敏传感器、连接电缆及控制器，所述光敏传感器为开关量光敏传感器，所述 开关量光敏传感器通过连接电缆连接所述控制器，所述开关量光敏传感器用于设 在辉光设备中辉光发生腔体的外围，开关量光敏传感器监测辉光发生腔体的等离 子体辉光强度获取监测信号，该监测信号通过连接电缆传送至控制器，所述控制 器接收所述监测信号后采取相应的操控动作；所述控制器上设有与开关量光敏传 感器电力连接的警示装置，所述开关量光敏传感器具有用于设定辉光强度的控制 电路，当开关量光敏传感器监测的辉光强度达到辉光强度的设定值时，开关量光 敏传感器向控制器发送一开关量信号，由控制器接收该信号并开启警示装置。

2.根据权利要求1所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 辉光设备中设有内护罩，所述内护罩将所述辉光发生腔体围括于其中，所述开关 量光敏传感器设于内护罩的内侧壁上。

3.根据权利要求2所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 开关量光敏传感器与辉光发生腔体侧壁之间的距离是5～20cm。

4.根据权利要求3所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 控制器是可编程控制器或工控机。

5.根据权利要求4所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 警示装置为嗡鸣器和/或以不同色彩灯管显示不同报警级别的指示灯。

6.根据权利要求5所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 控制器设于电器柜中，所述控制器上还设有可实现人工操控的操作界面。

7.根据权利要求6所述的辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：所述 操作界面为触摸式显示屏。

8.一种辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：包括用于监测辉光强度 的光敏传感器、连接电缆及控制器，所述光敏传感器为模拟量光敏传感器，通过 连接电缆连接所述控制器，所述模拟量光敏传感器用于设在辉光设备中辉光发生 腔体的外围，模拟量光敏传感器监测辉光发生腔体的等离子体辉光强度获取监测 信号，该监测信号通过连接电缆传送至控制器，所述控制器接收所述监测信号后 采取相应的操控动作；所述模拟量光敏传感器对辉光强度进行模拟量转化并将转 化信号传送至控制器，由控制器进行辉光电源功率的数据记录及控制辉光电源功 率的输出，以实现对辉光强度的调节。

9.一种辉光设备可调节辉光监控系统，其特征在于：包括用于监测辉光强度 的光敏传感器、连接电缆及控制器，所述光敏传感器包括开关量光敏传感器和模 拟量光敏传感器，所述控制器上设有与开关量光敏传感器电力连接的警示装置， 所述开关量光敏传感器具有用于设定辉光强度的控制电路，所述开关量光敏传感 器和模拟量光敏传感器分别通过连接电缆连接至控制器，所述开关量光敏传感器 和模拟量光敏传感器用于设在辉光设备中辉光发生腔体的外围，开关量光敏传感 器和模拟量光敏传感器监测辉光发生腔体的等离子体辉光强度获取监测信号，该 监测信号通过连接电缆传送至控制器，所述控制器接收所述监测信号后采取相应 的操控动作；当开关量光敏传感器监测的辉光强度达到辉光强度的设定值时，开 关量光敏传感器向控制器发送开关量信号，由控制器接收该信号并开启警示装置； 而所述模拟量光敏传感器则对辉光强度进行模拟量转化并将转化信号传送至控制 器，由控制器进行辉光电源功率的数据记录及控制辉光电源功率的输出，以实现 对辉光强度的调节。