[发明专利]制程排放水的回收系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制程，尤其涉及制程排放水的回收系统及方法。

背景技术

在半导体制程的排放水中，通常含有可以回收利用的成分，例如在晶背研磨制程排放水中，含有超细的硅粉末成分，该成分可以用作晶圆炼制的原材料，有回收利用价值。但由于该粉末成分粒径超细而难以沉降得到纯净物，目前作为废水处理，通过加药絮凝沉降后压成泥饼再外载处理。

目前的过滤方法比较常用的是膜过滤技术，该技术是物理性的固液分离技术，不需化学性的处理。过滤膜基本分类为微滤膜(MF)、超滤膜(UF)和纳诺滤膜(NF)。微滤膜除去0.05μm及以上的浮游物质、胶体及菌类，其具有低能耗、流速快等特点。微滤是动态过滤过程，被截留物质可随浓缩液排除，不致堵塞膜表面，可长期连续运行。微滤膜能截留0.1-1微米之间的颗粒和杂质，微滤膜允许大分子物质和溶解性固体(无机盐)等通过，能阻挡住悬浮物、细菌、部分细菌及大尺度的胶体通过。

现需要一种利用过滤技术对制程的排放水进行回收的系统和方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种制程排放水的回收系统及方法，其可以有效回收排放水中的有用成分。

为实现上述目的，本发明提供一种制程排放水的回收系统，该系统至少包括浓缩池，回收水槽以及离心机；浓缩池内置微滤膜组，微滤膜组充分浓缩排放水以形成浓缩液注入离心机，同时排放出清水注入回收水槽；离心机对浓缩液进行固液分离，固体累积在离心机内部的分离管。

本发明还提供一种制程排放水的回收方法，该方法包括如下步骤：a.首先将制程排放水注入浓缩池中；b.制程排放水通过浓缩池中的板式微滤膜组充分浓缩以形成浓缩液沉积在浓缩池中，同时排放出清水泵入回收水槽；c.启动离心机，浓缩液连续泵入离心机进行最大限度的固液分离，离心出水连续排入离心水槽，离心水槽中的离心出水再次注入浓缩池，执行步骤b，固体则累积在离心机的分离管内。

与现有技术相比，本发明的回收系统和回收方法可以充分利用制程的排放水，有效节约资源，降低生产成本。

附图说明

通过以下对本发明的一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其发明的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为：

图1为本发明制程排放水的回收系统的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明提供的回收系统主要包括浓缩池11，回收水槽13，浓缩液槽15，离心机17以及离心水槽19。

浓缩池11内置平板式微滤膜组(10片，孔径0.3um，0.25平方米/片)，微滤膜组下部设置压缩空气曝气系统连续曝气。曝气是在水中通入大量微细气泡，使其粘附于杂质颗粒上造成整体密度小于1的状态，靠浮力使其上升至水面而使固液分离的一种净水法。该曝气系统通过压缩空气对微滤膜进行气反冲，气反冲持续一段时间，使膜表面吸附的物质脱离滤膜。

回收水槽13用于储存经过微滤膜组过滤出的清水。浓缩液槽15用于储存经过微滤膜组过滤后沉积的浓缩液。

离心机17用于将浓缩液进行最大限度的固液分离，离心出水连续排入离心水槽19，固体累积在离心机17内部的分离管(未图示)中。

该系统还包括将微滤模组过滤后的清水排放到回收水槽13中的产水泵21，将含有微滤模组截留的物质的浓缩液泵入浓缩液槽15中的浓缩液泵23，将浓缩液槽15中的浓缩液泵入离心机17的进料泵25，以及将离心水槽19中的水泵入浓缩池11的出水泵27。

本发明还提供一种制程排放水的回收方法。首先将制程排放水注入浓缩池11中，制程排放水中的有用成分通过浓缩池11中的板式微滤膜组充分浓缩以形成浓缩液沉积在浓缩池11中，同时排放出清水，清水通过产水泵21泵入回收水槽13。

制程排放水持续通过板式微滤膜组过滤一段时间后，启动浓缩液泵23将浓缩池11中的浓缩液一次泵入浓缩液槽15。

然后启动离心机17，由进料泵25将浓缩液槽15中的浓缩液连续泵入离心机17进行最大限度的固液分离，离心出水连续排入离心水槽19，固体累积在离心机17的分离管内，达到一定量后(不超过分离管容积)停机，卸下分离管从中取出固体，自然风干后包装即可。离心水槽19中的离心出水可以通过出水泵27泵入浓缩池11中继续执行回收方法。

在本发明较佳实施例中，离心机17采用高速管式离心机，其分离管容积6升或10升，通水能力1.2m³/h(立方米/小时)，转速16000rpm(转/分钟)。