本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,包括底座和箱体,所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体,所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体,所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架,所述安装架的一侧固定安装有加热器,所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置,实现了均匀喷洒的效果,使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应,大大提高了太阳能电池片的质量,通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置,防止气体出现泄漏的现象,大大增强了装置整体密封的效果。
1.一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,包括底座(1)和箱体(16),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有扩散炉本体(2),所述扩散炉本体(2)内腔的顶部固定连接有壳体(7),所述扩散炉本体(2)内腔的两侧均固定连接有安装架(11),所述安装架(11)的一侧固定安装有加热器(13),所述扩散炉本体(2)内腔的底部固定连接有第一放置架(15),所述扩散炉本体(2)内腔底部的左侧固定安装有温度探测器(14),所述扩散炉本体(2)的顶部固定安装有第一风机(3),所述第一风机(3)的输入端固定连接有吸气管(4),所述吸气管(4)的一侧固定连接有连接口(5),所述第一风机(3)的输出端固定连接有第一出气管(6),所述第一出气管(6)的底部贯穿扩散炉本体(2)和壳体(7)并延伸至壳体(7)的内部,所述第一出气管(6)的底部连通有第二出气管(8),所述第二出气管(8)的底部固定连接有喷洒头(10),所述喷洒头(10)的底部贯穿至壳体(7)的底部,所述箱体(16)的顶部固定安装有第二风机(17),所述第二风机(17)的输入端固定连接有输气管(18),所述输气管(18)的一侧贯穿至扩散炉本体(2)的内腔,所述第二风机(17)的输出端固定连接有导气管(19),所述导气管(19)的底部贯穿至箱体(16)的内腔,所述箱体(16)内腔的底部安装有第二放置架(20),所述第二放置架(20)的内腔填充有活性炭吸附块(21),所述第二放置架(20)的底部开设有通孔(22)。
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