本实用新型涉及微电子技术领域,具体地说,涉及一种夹持旋转式微电子制造用清洗机。其包括清洗桶,所述清洗桶内部设有旋转扰动装置,所述旋转扰动装置包括转杆,所述转杆通过电机输出轴转动在所述清洗桶内部,所述转杆外壁设有多个固定架,所述固定架为中空结构,且外壁开设有多个通孔,所述固定架内部滑动有放置板,所述放置板前后表面均开设有空腔,所述放置板内腔嵌设有连接框,所述连接框内部通过马达输出轴转动有扰动扇叶。本实用新型可以横向和纵向扰动水流接触原料,提高清洗效果。
1.一种夹持旋转式微电子制造用清洗机,包括清洗桶(100),其特征在于:所述清洗桶(100)内部设有旋转扰动装置(200),所述旋转扰动装置(200)包括转杆(210),所述转杆(210)通过电机(211)输出轴转动在所述清洗桶(100)内部,所述转杆(210)外壁设有多个固定架(212),所述固定架(212)为中空结构,且外壁开设有多个通孔(213),所述固定架(212)内部滑动有放置板(220),所述放置板(220)前后表面均开设有空腔(221),所述放置板(220)内腔嵌设有连接框(222),所述连接框(222)内部通过马达(2230)输出轴转动有扰动扇叶(223)。
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