本实用新型公开了一种晶圆激光蚀刻机,涉及到激光蚀刻技术领域。包括:底座、位置控制机构、激光器、纵向电机、横向电机、激光器、升降电机、工作台。有益效果:通过设置纵向电机和横向电机,通过电机控制螺杆的转动进而通过整个位置控制机构和激光器的位置移动使得激光头射出的激光对晶圆的各个点进行激光蚀刻,通过电机的转动使得横向和纵向共同定位,使得激光头能够对晶圆的所有部位进行蚀刻的同时保证了蚀刻的精确度;通过设置升降电机,升降电机带动升降螺杆转动进而带动升降台升降,进而使得在激光蚀刻完成后升降台升高顶起加工完成后的晶圆使之高于工作台平面,使得晶圆便于取出进行下一步的加工。
1.一种晶圆激光蚀刻机,包括:底座(1)、位置控制机构(2)、激光器(5),其特征在于,所述底座(1)顶端四角设置有支撑柱(11),所述支撑柱(11)顶端设置有操作台(12),所述操作台(12)上设置有纵向限位槽(13),所述位置控制机构(2)一端设置有支撑架(21),所述支撑架(21)顶端设置有支撑横梁(22),所述支撑横梁(22)顶端开设有横向限位槽(23),所述位置控制机构(2)顶端开设有电机槽(24),所述位置控制机构(2)底端设置有支撑块(25),所述支撑块(25)中央开设有纵向螺纹孔(26),所述底座(1)上方设置有纵向电机(3),所述纵向电机(3)一端设置有纵向螺杆(31),所述电机槽(24)内部设置有横向电机(4),所述横向电机(4)一端设置有横向螺杆(41),所述横向限位槽(23)内部设置有激光器(5),所述激光器(5)顶端设置有限位板(51),所述激光器(5)上开设有横向螺纹孔(52),所述激光器底端设置有激光头(53),所述激光头(53)下方设置有升降电机(6),所述升降电机(6)顶端设置有升降螺杆(61),所述升降螺杆(61)顶端设置有升降台(62),所述操作台(12)顶端一端设置有工作台(7),所述工作台(7)外侧设置有挡板(71)。
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/tech/sell/s_2271161.html,转载请声明来源钻瓜专利网。