一种于多层石墨烯表面制备高k栅介质的方法
专利号(申请号):201210385176.4
专利类型:发明专利
更新时间:2020-12-13 14:25:31
项目编号:216531
所属行业:新能源
交费状态:交费已下证
参考价:面议含 国家官方手续费、平台服务费
关键词: 一种 多层 石墨 表面 制备 介质 方法
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专利详情

【摘要】:

发明涉及一种利用集成电阻测量多芯片埋置型封装芯片接面温度的方法,其特征在于在芯片接面即衬底上的埋置槽中制造集成热敏电阻,利用热敏电阻的阻值随温度变化的特性来测量芯片接面温度。电阻种类可根据需要、性能和成本进行选择,以制造薄膜电阻为例,先在衬底上形成一层氧化层,然后淀积电阻材料,光刻腐蚀形成电阻图形和金属布线,不影响电阻的连接。然后再在衬底表明形成一层钝化层,保护电阻不受外界影响。通过光刻腐蚀开出焊盘窗口。测量前,先对热敏电阻做温度标定,在30~120℃区间作出温度-阻值特性曲线。测量时,先热敏电阻焊盘连接到测试仪器上测电阻;然后,将测试样品放入恒温箱内,待温度稳定后测量电阻值,从而根据温度-阻值特性曲线推算出接面温度值。

【主权项】:

一种利用集成电阻测量埋置型封装芯片接面温度的方法,其特征在于所述的接面温度是指埋置芯片和沉底接面间的温度,在芯片接面即衬底上的埋置槽中制造集成热敏电阻,利用热敏电阻的阻值随温度变化的特性来测量芯片接面温度,热敏电阻种类根据需要、性能和成本进行选择:(1)制造半导体电阻就在埋置槽中扩散或注入离子;(2)制造薄膜电阻,先在衬底上形成一层氧化层,然后淀积电阻材料,光刻腐蚀形成电阻图形和金属布线;在此过程中,电阻的引脚需通过布线引出埋置槽以便在芯片埋入后,然后再在衬底表面形成一层钝化层,保护电阻不受外界影响;通过光刻腐蚀开出焊盘窗口;测量前,先对热敏电阻做温度标定,在30~120℃区间作出温度‑阻值特性曲线。测量时,先热敏电阻焊盘连接到测试仪器上测电阻,芯片上的发热结构连到电流或电压表上;然后,将测试样品放入恒温箱内,使埋置入埋置槽的芯片上的发热结构以一定功率发热,待温度稳定后测量电阻值,从而根据温度‑阻值特性曲线推算出接面温度值。

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交易流程

交易流程

  1. 1、买家选定所需专利,与钻瓜专利网签订委托购买合同;
  2. 2、卖家与钻瓜专利网签订代理出售合同;
  3. 3、买家支付50%的交易款项到钻瓜专利网平台;
  4. 4、买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》各一式两份,钻瓜专利网负责提交到国家知识产权局;
  5. 5、钻瓜专利网负责办理官方变更手续,国家知识产权局专利局在10个工作日左右下发专利《变更手续合格通知书》;
  6. 6、买家确认收到专利《变更手续合格通知书》,支付剩余尾款给钻瓜专利网;
  7. 7、钻瓜专利网把专利证书原件、专利登记簿副本原件邮寄给买家;
  8. 8、钻瓜专利网负责把交易尾款支付给卖家,至此专利转让合同完成。

安全保障

  1. 1、买家交易款项将暂保管于钻瓜专利网担保账户,钻瓜专利网全程资金代管,保障买卖双方资金安全。
  2. 2、选择委托经纪人服务,均由交易经纪人验证交易品和买卖双方身份信息真实有效性。
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  4. 4、选择委托经纪人服务,并由钻瓜专利网向卖家代付定金;待国家知识产权局下发手续合格通知书、并经钻瓜专利网核实后,支付卖家尾款。
  5. 5、选择委托经纪人服务,将由交易经纪人代办国家手续,客户随时可查进度。
  6. 6、对于买卖双方自主进行的交易,钻瓜专利网无法确保所有交易合同及相关文件合法有效。
  7. 7、自主交易的交易品将由卖家直接为买家提供售后服务,如有异议,钻瓜专利网鼓励买卖双方协商解决。
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