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- [发明专利]一种晶圆蓝膜张紧装置-CN202210709088.9有效
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李蛇宏;朱道奇
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四川明泰微电子有限公司
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2022-06-22
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2022-09-06
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H01L21/67
- 本申请提供一种晶圆蓝膜张紧装置，属于制造半导体器件的设备技术领域，包括：张紧部件及夹持部件。张紧部件包括壳体，壳体内的下段设有调节机构，上段设有张紧环，张紧环用于张紧蓝膜，调节机构用于控制张紧环沿轴线移动。夹持部件设于壳体上方，用于安装蓝膜支架，夹持部件包括环形结构的压板，压板设于蓝膜支架及蓝膜的下方，张紧环的顶面与压板及蓝膜支架均相互平行。使用时，张紧环向上穿过夹持部件的底部及压板，张紧环向上移动，将压板向上顶起，压板压紧于蓝膜的底面。结构简单，可有效保证张紧环顶面与蓝膜支架之件的平行，而且可对蓝膜支架及蓝膜进行压紧，能防止蓝膜脱落。
- 一种晶圆蓝膜张紧装置
- [实用新型]膜包机的送膜装置-CN201620578632.0有效
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温一榴;鲍宗新;余礼棒;孙绍光
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江苏亚克西食品有限公司
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2016-06-15
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2016-11-16
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B65B41/16
- 本实用新型公开了一种膜包机的送膜装置，它包括第一放膜转动轮、第一放膜支架、第二放膜转动轮、第二放膜支架和张紧支板，所述第一放膜转动轮设置于所述第一放膜支架上，所述第二放膜转动轮设置于所述第二放膜支架上，所述第一放膜支架与所述第二放膜支架之间设置张紧支板，所述张紧支板上部一侧设置第一张紧辊轮，所述张紧支板上部另一侧设置第二张紧辊轮，所述张紧支板中部设置第三张紧辊轮和第四张紧辊轮，所述第三张紧辊轮和第四张紧辊轮相切本实用新型其能够连续供膜，以及能够保证供膜过程中的张紧力稳定。
- 包机装置
- [发明专利]软膜辊压机和纳米压印机-CN202010312171.3在审
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史晓华
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苏州光舵微纳科技股份有限公司
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2020-04-20
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2021-10-22
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B41F17/00
- 本发明提供用于纳米压印的软膜辊压机，其包括：模板固定平台，平台上设置有放置待压印的产品的产品放置机构；第一软膜张紧装置，位于平台的一端，并包括用于夹持软膜的一端的第一夹持机构；第二软膜张紧装置，位于平台的与第一软膜张紧装置相对的另一端，第二软膜张紧装置包括第二夹持机构、张紧控制机构和升降控制机构，第二夹持机构用于夹持软膜的另一端，张紧控制机构连接至第二夹持机构、并对第二夹持机构施加斜上向的张紧力，以张紧被第二夹持机构所夹持的软膜，升降控制机构位于张紧控制机构下方并用于控制第二夹持机构和张紧控制机构的升降；辊压装置，位于平台的上方，包括辊压被张紧的软膜的辊压轮。
- 软膜辊压机纳米压印
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