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[发明专利]在类金刚石镀膜表层涂镀AF防指纹膜的玻璃及生产工艺-CN201710980277.9在审
发明人：詹达勇;张忠义;徐日宏;卓小龙;徐贵鲁 -专利权人：深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种在类金刚石镀膜表层涂镀AF防指纹膜的玻璃及生产工艺，该玻璃包括有玻璃基材，所述玻璃基材的表面设有类金刚石镀膜，所述类金刚石镀膜的表面镀制有含Si原子键的辅助过渡层，所述辅助过渡层的表面喷涂有该工艺包括：准备玻璃基材，所述玻璃基材的表面设有类金刚石镀膜，在所述类金刚石镀膜的表面镀制含Si原子键的辅助过渡层，之后在所述辅助过渡层的表面喷涂AF防指纹膜层。本发明能够增强AF药液在类金刚石薄膜表面的结合度及耐磨性，使涂镀AF防指纹的玻璃产品具有防刮花和防指纹性能。
类金刚石镀膜玻璃基材防指纹膜过渡层涂镀表面喷涂表面镀玻璃生产工艺指纹类金刚石薄膜耐磨性玻璃产品防刮花结合度

[发明专利]一种具有多层镀膜的模具-CN200510101567.9有效
发明人：陈杰良 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-11-18 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： C03B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有多层镀膜的模具，其包括一基底及形成于该基底上的多层镀膜，该多层镀膜包括一过渡层，一含氮类金刚石碳层，一含氮、氢类金刚石碳层以及一含氢类金刚石碳层，且该四层膜依次形成于该基底上。本发明具有多层镀膜的模具，其多层镀膜中包含有多种类金刚石碳膜层，从而可提供优良的机械性能如高硬度、低摩擦、耐腐蚀等。
一种具有多层镀膜模具

[发明专利]镀膜基材以及离子束源沉积制备镀膜基材的方法-CN201710029850.8在审
发明人：吕宜超;王琦;崔平生;何顺卿;黄剑 -专利权人：中国南玻集团股份有限公司;深圳南玻应用技术有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束源沉积制备镀膜基材的方法以及该方法制得的镀膜基材，该方法包括如下步骤：提供基材；在基材表面形成介质层，介质层的材料为ZrO或SiOxNy；以碳原子数为1～12的碳氢化合物为气体碳源，在介质层上沉积形成第一类金刚石碳层；在第一类金刚石碳层上继续沉积形成第二类金刚石碳层；在第二类金刚石碳层上继续沉积形成第三类金刚石碳层，得到镀膜基材。这种镀膜基材的第三类金刚石碳层中均含有C‑H键、以sp2的形式结合的C‑C键以及以sp3的形式结合的C‑C键，从而兼具了金刚石的高硬度和石墨表面低摩擦系数的优良特性。
类金刚石碳层镀膜基材沉积介质层离子束源制备低摩擦系数碳氢化合物基材表面气体碳源石墨表面碳原子数金刚石高硬度基材

[发明专利]一种具有镀膜层的半导体-CN202011573212.0在审
发明人：余周 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有镀膜层的半导体，包括：半导体基底，所述半导体基底依次经过超声波预清洗和轰击清洗；位于所述半导体基底表面的类金刚石镀膜层，其中，所述类金刚石镀膜层通过采用FCVA法，以0度角度在轰击清洗后的半导体基底上沉积类金刚石膜相应形成；以及，位于所述类金刚石镀膜层表面的氟离子掺杂层，其中，所述氟离子掺杂层通过采用IBE或ECR刻蚀法，以四氟化碳作为掺杂气体在所述类金刚石镀膜层上掺杂氟离子相应形成。
一种具有镀膜半导体

[发明专利]一种类金刚石涂层及金属表面镀制类金刚石涂层的方法-CN202111158697.1在审
发明人：施木生 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种类金刚石涂层及金属表面镀制类金刚石涂层的方法。所述类金刚石涂层，包括在金属工件表面自下而上依次设置金属过渡层、类金刚石层，所述金属过渡层的厚度为80nm‑100nm。本发明依次采用真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜的工艺，在金属工件表面上设置金属过渡层、类金刚石层，能够解决传统镀膜方法针对复杂结构工件镀膜不均匀的问题，得到的镀膜金属工件具有高硬度、优良的抗摩擦性能、化学稳定性等优点
种类金刚石涂层金属表面镀制类方法

[发明专利]一种荷叶类金刚石膜的镀膜工艺-CN201310329956.1无效
发明人：李灿民;陶满;陶圣全 -专利权人：合肥永信等离子技术有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：一种制备荷叶类金刚石膜的镀膜技术，该技术以等离子全方位离子沉积设备为依托，将八氟环丁烷、一甲基硅烷、二甲基硅烷等气体输入到真空罐内，通过等离子增强化学气相沉积方法在工件表面镀荷叶类金刚石膜。镀膜主要包括等离子清洗、等离子渗氮、过渡层镀膜、类金刚石镀膜、荷叶膜镀膜等五个步骤。荷叶类金刚石膜具有很高的硬度，由于和荷叶表面有着类似的构造因此具有极低的表面能，鉴于荷叶类金刚石膜的高耐磨和疏水性能，它可以成功应用在煤矿筛网、金属模具、航空航天飞行器机翼、输油管道等领域。
一种荷叶金刚石镀膜工艺

[发明专利]一种类金刚石膜玻璃的制备方法-CN201510519471.8有效
发明人：王先玉;夏永光 -专利权人：浙江星星科技股份有限公司
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种类金刚石膜玻璃的制备方法，属于玻璃镀膜技术领域。为了解决现有的结合力差和硬度低的问题，提供一咱类金刚石膜玻璃的制备方法，包括将玻璃基片装夹后放入镀膜腔室内，镀膜腔室抽真空后，再通入氩气使生成等离子体，进行等离子清洗；清洗结束后，关闭氩气，将镀膜腔室重新抽真空，然后再通往氩气，同时打开碳靶发射源，并开启脉冲直流电源使产生等离子体，使沉积类金刚石膜；所述类金刚石膜为高sp2键含量类金刚石膜与低sp2键含量类金刚石膜交替沉积而成；沉积结束后，再在其表面上沉积AF膜，得到类金刚石膜玻璃。
种类金刚石玻璃制备方法

[实用新型]一种铝件加工单刃刀涂层-CN201920633669.2有效
发明人：唐杰;罗俊旋;章淑飞;张勇 -专利权人：深圳南科超膜材料技术有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种铝件加工单刃刀涂层，涉及金属加工设备技术领域，包括刀具基体，刀具基体外侧通过磁控溅射方式沉积金属过渡层，金属过渡层外侧沉积有多层复合层，复合层包括掺氮类金刚石镀膜层和超硬耐磨类金刚石镀膜层，且掺氮类金刚石镀膜层位于超硬耐磨类金刚石镀膜层的内侧。
一种加工单刃刀涂层

[发明专利]类金刚石涂层锯片制备方法及类金刚石涂层锯片-CN201810937813.1在审
发明人：唐瑜;夏辉 -专利权人：佛山市南海唐立新五金工具有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了类金刚石涂层锯片制备方法及类金刚石涂层锯片，涉及锯片制备工艺技术领域。一种类金刚石涂层锯片制备方法，用于制备类金刚石涂层锯片，类金刚石涂层锯片制备方法包括：在基体上开齿槽。对第三产物进行类金刚石镀膜处理，得到类金刚石涂层锯片。一种类金刚石涂层锯片，其能通过上述类金刚石涂层锯片制备方法制成。本发明提供的类金刚石涂层锯片制备方法及类金刚石涂层锯片能提高类金刚石涂层锯片的使用寿命、耐摩擦性能以及抗氧化生锈性能。
锯片类金刚石涂层制备金刚石涂层类金刚石镀膜制备工艺技术耐摩擦性能喷砂处理使用寿命抗氧化生锈齿槽打磨后角前角

[发明专利]一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法-CN201510824541.0有效
发明人：唐永炳;蒋春磊;张静 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层
类金刚石涂层过程多层复合涂层金刚石制备类金刚石涂层真空条件甲烷基底沉积金刚石涂层金刚石涂层表面多层复合结构真空镀膜技术表面预处理基底表面交替沉积金刚石层最外层装炉沉积加热重复

[实用新型]移动终端壳体以及移动终端-CN201721878244.5有效
发明人：戴小军;韩德智;王斯慰;刘常志;伍国平;林佩玲;聂晶晶 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C03C17/42 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种移动终端壳体以及移动终端，该移动终端壳体包括：玻璃基体；陶瓷镀膜层，类金刚石镀膜层，以及抗指纹AF镀膜层；所述陶瓷镀膜层设置在所述玻璃基体上；所述类金刚石镀膜层设置在所述陶瓷镀膜层的外表面上；所述AF镀膜层设置在所述类金刚石镀膜层的外表面上。本申请实施例提供的移动终端壳体及移动终端，在满足壳体具有类陶瓷效果的同时，还满足了使用时的可靠性。
移动终端壳体类金刚石镀膜陶瓷镀膜层玻璃基体镀膜层陶瓷效果抗指纹申请

[发明专利]一种在钢铁基体上镀金刚石膜的方法-CN202010995293.7有效
发明人：贾春德;王玉琴 -专利权人：贾春德;王玉琴
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种在钢铁基体上镀金刚石膜的方法，包括：1)制备含纳米金刚石颗粒的钢铁基复合材料；2)在含纳米金刚石颗粒的钢铁基复合材料上镀金刚石膜；所镀金刚石膜大部分在外露于钢铁基体表面的纳米金刚石颗粒上外延生长形成，少部分金刚石膜在钢铁基体表面其余部分成核相伴生长，两类膜相互连接形成有锚固功能的镀膜结构。采用本发明所述方法后，金刚石镀膜与基体间的结合强度得到大幅提升，从而提高了金刚石镀膜(层)的抗剥落、抗划伤性能。
一种钢铁基体镀金刚石方法

[实用新型]一种镀膜设备-CN202121545740.5有效
发明人：唐智 -专利权人：纳峰真空镀膜（上海）有限公司
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备，包括镀膜腔体，围绕镀膜腔体的外周边设置有多个法兰口，其中一个法兰口为抽气口，其余的法兰口中，每个法兰口上配置一个类金刚石镀膜源，所述类金刚石镀膜源包括但不限于磁控溅射源、离子源、多弧源和过滤弧源；整个镀膜设备包含至少一个离子源、和/或磁控溅射源、和/或多弧源、和/或过滤弧源。本实用新型的镀膜设备，具有多功能，包含多种类金刚石镀膜源制备类金刚石膜层，并在同一台设备中一并实现镀膜、退膜功能，实现一机多用。
一种镀膜设备

[发明专利]金刚石涂层刀具及其制备方法-CN201910619791.9在审
发明人：孔帅斐;李翠;李和鑫;宜娟 -专利权人：河南富莱格超硬材料有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种金刚石涂层刀具，包括：硬质合金基体、形成在所述硬质合金基体上的TiAlCN层、沉积在所述TiAlCN层表面的类金刚石层和形成在所述类金刚石层表面的金刚石涂层。本发明还提供一种上述金刚石涂层刀具的制备方法，包括：清洗硬质合金基体；在所述硬质合金基体上进行镀膜处理，形成TiAlCN层和类金刚石层；采用化学气相沉积法在所述类金刚石层的表面沉积金刚石涂层。上述金刚石涂层刀具中的TiAlCN层用作Co元素屏蔽层，类金刚石层用作金刚石种晶层，增强了金刚石涂层与硬质合金基体的结合强度，提高金刚石涂层刀具的切削性能和使用寿命。另外，上述金刚石涂层刀具易于工业化生产且制备过程环保。
金刚石涂层刀具硬质合金基体类金刚石层金刚石涂层制备化学气相沉积金刚石表面沉积镀膜处理切削性能使用寿命元素屏蔽制备过程种晶层沉积清洗环保

[发明专利]金刚石涂层用复合基体及其制备方法-CN201910619784.9在审
发明人：孔帅斐;李翠;李和鑫;宜娟 -专利权人：河南富莱格超硬材料有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种金刚石涂层用复合基体，包括：硬质合金基体、形成在所述硬质合金基体上的TiAlCN层和沉积在所述TiAlCN层表面的类金刚石层。本发明还提供一种上述金刚石涂层用复合基体的制备方法，包括：先清洗硬质合金基体，再在所述硬质合金基体上进行镀膜处理，其中，所述镀膜处理包括依次在所述硬质合金基体上镀TiAlCN层和类金刚石层。本发明提供的上述金刚石涂层用复合基体中的TiAlCN层用作Co元素屏蔽层，类金刚石层用作金刚石种晶层，增强了采用CVD法制备出的金刚石薄膜与硬质合金基体的结合强度，所以，使用本发明提供的上述复合基体有利于提高后续制备出的金刚石涂层刀具的切削性能和使用寿命
硬质合金基体复合基体金刚石涂层类金刚石层制备镀膜处理金刚石涂层刀具金刚石薄膜切削性能使用寿命元素屏蔽金刚石种晶层沉积清洗

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