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- [发明专利]涂布方法-CN200710128041.9有效
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魏志丹;见村史章
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中外炉工业株式会社
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2007-06-22
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2008-06-25
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B05D1/26
- 一种涂布方法,一边使涂布液(2)从设在涂布用涂布头(10)的前端面上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体(1)一边使涂布用涂布头移动,将涂布液涂布在被涂布体的表面上,此时使从涂布用涂布头的排出口排出的涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上,在待机至如此保持的涂布液均匀后,使涂布用涂布头下降而使保持的涂布液与被涂布体的表面接触,然后,一边将规定量的涂布液从排出口排出一边使涂布用涂布头上升到被涂布体隔有所需间隔(D)的涂布开始位置。采用本发明,在一边使涂布液从狭缝状排出口排出一边使涂布用涂布头移动而将涂布液涂布在被涂布体的表面上时,可防止发生沿移动方向的条纹不均情况,并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。
- 方法
- [发明专利]涂布用涂布头的清扫装置-CN200710128038.7有效
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土井敏也;甲田正纪;永井久也;黑木贵史
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中外炉工业株式会社
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2007-06-22
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2008-06-25
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B05B15/02
- 一种涂布用涂布头的清扫装置,设有吸引部(23),在使清扫构件(20)的前端部与设有供给涂布液(1)的狭缝状排出口(12)的涂布用涂布头(10)的前端面(11a)接触、使清扫构件沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时,该吸引部(23)可对由清扫构件从涂布用涂布头上除去后的涂布液进行吸引,并在清扫构件的移动方向后方侧设置有洗净液供给喷嘴(21),该洗净液供给喷嘴(21)与清扫构件一起移动,将洗净液供给到从涂布用涂布头上除去涂布液后的清扫构件的前端部在使清扫构件的前端部与涂布用涂布头接触状态下使其沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时,就能简单而可靠地除去附着在该清扫构件上的涂布液。
- 涂布用涂布头清扫装置
- [发明专利]涂布装置-CN200710128042.3有效
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泽田英之;肥田充弘
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中外炉工业株式会社
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2007-06-22
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2008-06-25
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B05C5/02
- 一种涂布装置,使涂布用涂布头(10)相对于被涂布体(1)相对移动,将涂布液(2)从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体的表面,在从所述排出口将涂布液供给到被涂布体的位置附近设置有使气体喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧部分的气体喷出装置(20),使气体从该气体喷出装置倾斜地喷出到涂布用涂布头的移动方向下游侧。采用本发明,当使涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动而从设在涂布用涂布头前端上的狭缝状排出口将涂布液供给到被涂布体的表面时,即使使用了高粘度的涂布液,也可将该涂布液较薄地且平滑而均匀地涂布在被涂布体的表面上
- 装置
- [发明专利]涂布装置及涂布方法-CN202011510872.4在审
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西尾勤
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中外炉工业株式会社
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2020-12-18
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2021-06-22
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B05C5/02
- 使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动,并从涂布用喷嘴前端部的狭缝状排出口(11)将涂布液(P)涂布于被涂布体的表面时,将收容有涂布液的涂布用喷嘴的涂布液导入部(13)以与狭缝状排出口连通的方式设置,并在该涂布液导入部内的底部,将在外周面设置有规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)能旋转地设置在狭缝状排出口的上方,并使该涂布液供给体旋转而从涂布液收容凹部内将涂布液通过狭缝状排出口涂布于相对移动的被涂布体的表面
- 装置方法
- [发明专利]涂布工具用尖头和涂布工具-CN200710078824.0有效
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中谷泰范
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株式会社樱花彩色笔
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2007-02-15
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2007-08-29
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B43K1/08
- 本发明的目的在于提供一种能够持续进行涂布液的输出的耐久性好的涂布工具用尖头和涂布工具。本发明的涂布工具用尖头(1)具有涂布工具用尖头本体(11),和由涂布工具用尖头本体(11)的前端侧保持的小于0.5mm的滚珠(10)。并且,在涂布工具用尖头本体(11)上设置的滚珠罩(15)中,在支承面(45)和侧壁面(41)之间设有连接面(71)。连接面(71)的支承角(α)为150°以上、210°以下。由此,能够确保涂布液的流路,使用时支承面(45)难以后退,缝隙(T)难以减小,涂布液的输出稳定。
- 工具尖头
- [发明专利]半导体制造用薄膜涂布装置-CN201180047409.3有效
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黄善伍
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考姆爱斯株式会社
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2011-06-29
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2014-07-16
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H01L21/027
- 本发明涉及一种半导体制造用薄膜涂布装置,作为薄膜涂布装置,其特征在于包括:主滚筒(10),其与薄膜的另一面进行面接触;涂布用滚筒(20),其与所述主滚筒(10)平行地邻接配备,与薄膜的一面进行面接触;涂布液供应滚筒(30),其在所述主滚筒(10)的相反一侧,与所述涂布用滚筒(20)平行地邻接并隔开地配备,在下部浸于涂布液存储容器(39)中的状态下,在表面沾染涂布液后,涂布于所述涂布用滚筒(20)的表面;薄膜引导部(40),其将薄膜引导至所述主滚筒(10)与滚筒(20)之间的空隙;硬化装置部(50),其利用高温使在通过所述主滚筒(10)与涂布用滚筒(20)之间的同时而涂布了涂布液的薄膜硬化;传输机(60),其进行移送
- 半导体制造薄膜装置
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